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  • 本文公开了针对可拆卸滤光器保持器的装置和系统方面。一方面包括相机镜头主体、定位在相机镜头主体内的相机透镜、在相机透镜之间沿着相机镜头主体的槽、定位在槽中的引导机构,以及沿着引导机构定位在槽中的可拆卸滤光器保持器。这个方面的可拆卸滤光器保持器...
  • 拍摄装置具备:拍摄部,具有拍摄面,所述拍摄面拍摄由变倍光学系统形成的像;生成部,基于从所述拍摄面的至少一部分区域输出的信号而生成图像信息;及控制部,与所述变倍光学系统的变倍并行地进行使所述一部分区域的大小变更的电子变倍控制。
  • 本发明的目的在于提供一种对氢自由基的耐性高且EUV反射率低、OD值高的EUV光掩模坯和EUV光掩模。根据本实施方式的反射型掩模坯(10)至少具备基板(1)、多层反射膜(2)、覆盖层(3)以及低反射部(5),低反射部(5)由第一吸收膜(51)...
  • 公开了对量测工具的测量照射进行光谱配置的方法,方法包括:使用所述投射光学系统来投射测量辐射,以获得经投射的测量辐射;在检测器处测量经投射的所述测量辐射的信号幅度度量;根据信号幅度度量来确定经投射的测量辐射的光谱形状;以及在投射光学系统之前对...
  • 一种用于投射曝光设备的光学系统,具有照明光学单元,用于将照明及成像光(3)从光源引导至可配置待成像物体于其中的物场,以及成像光学单元,用于将物场成像至可配置待曝光基板于其中的像场。成像光学单元具有出射光瞳(36),其具有位于外光瞳边缘(37...
  • 本发明涉及一种感光性组合物,其含有不含PFAS的聚降冰片烯即PNB的共聚物和三元共聚物,并结合特定添加剂,所述感光性组合物可用于形成微电子及/或光电子器件及其组件,更具体而言,涉及一种组合物,其含有不含PFAS的PNB、特定多官能交联剂及两...
  • 一种光致抗蚀剂组合物,其包含以基于光致抗蚀剂组合物的总固体大于50 wt%的组合量存在的一种或多种非溶剂碱不溶性基础材料;非聚合离子光酸产生剂化合物,其包含阴离子和碘鎓或锍阳离子,其中该阴离子由如本文所定义的式 (1) 表示,其中b是1至4...
  • 本发明的目的在于提供一种耐热性优异、显影时的膜减少量少、感度高的感光性树脂组合物。本发明为一种感光性树脂组合物,其含有:(a)选自由聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚苯并噁唑、及这些的前体所组成的群组中的一种以上的树脂(以下称为“(a)树脂”)、(...
  • 公开了在不使用催化剂的情况下制备交联薄膜的新型方法。使用鏻催化剂,在温和条件下将丙炔酸与缩水甘油基或环氧基接枝,得到丙炔酸酯。所述丙炔酸酯可在低至120°C的温度下热交联(使得所述聚合物膜不溶),而一些实施方式可在暴露于DUV光时进行光诱导...
  • 一种翻新衬底支撑件的方法,该衬底支撑件包括:第一表面,被配置为支撑衬底;以及第二表面,与该第一表面相对。该方法包括:将材料沉积在第二表面上以形成涂层,该涂层增加衬底支撑件的厚度;以及从该第一表面去除材料。
  • 投射光刻的照明光学单元(11)具有传输分面反射镜(6)、照明规范分面反射镜(7)和监测装置(28)。后者具有至少一个空间分辨监测传感器(29)和卫星分面(30),卫星分面(30)属于传输分面反射镜(6)且在各个情况下分配给恰好一个监测传输分...
  • 本发明涉及照明光学单元(11),其具有两个分面反射镜(6、7),用于反射地引导来自EUV光源(2)的照明光(2)。第二分面反射镜(7)具有形成第二分面(25)的第二单独反射镜(34),其经由照明光(3)的部分光束(30)将形成第一分面的第一...
  • 本公开涉及一种用于光刻装置的组件,该组件包括:热调节板;多个超导线圈,用于使载物台在其上磁悬浮且线性位移,其中多个超导线圈与热调节板热接触;其中:热调节板包括用于包含第一制冷剂的第一内部通道和用于包含第二制冷剂的第二内部通道;并且第一内部通...
  • 提供一种电子照相设备用显影辊,其表层为低电阻且耐磨损性优异,并且均匀性也优异,图像长期优异。电子照相设备用显影辊(10)具备轴体(12)、形成于轴体(12)的外周面上的弹性体层(14)、以及形成于弹性体层(14)的外周面上的表层(16),弹...
  • 一种处理盒包括:光电导单元;显影单元,该显影单元联接到光电导单元并且可枢转到显影位置和释放位置;以及弹性构件,该弹性构件将显影单元朝向显影位置偏置。辊隙控制构件可切换到辊隙分离位置和辊隙形成位置,在该辊隙分离位置,显影单元被维持在释放位置处...
  • 本发明涉及一种钟表部件或珠宝部件,钟表部件或珠宝部件完全或部分地由如下材料制成,该材料包括介于9克拉至21克拉之间的金,材料(1)包括预定颜色基质(2)且至少包括分散在基质中的金颗粒(3),预定颜色基质由预定颜色基质在CIE L*a*b*空...
  • 本发明涉及一种设备控制器(2),其具有:至少一个用于设备(1)的至少一个自动化部件(3、4)的控制装置(5);以及至少一个用于与所述至少一个控制装置(5)通信的移动终端(7)。此外,本发明涉及一种相应的设备控制方法,以及具有至少一个自动化部...
  • 一种用于监测和/或操作机器(10)的方法和系统,该机器包括可旋转工具(20, 22),该可旋转工具具有第一数量(L)的工具刃口(310),该工具刃口被配置为当工具(20, 22)旋转时穿透原材料工件(30),用于使工具刃口(310)剪切原材...
  • 在控制程序的制作中不明确地使用访问共享变量的调用处理的情况下,减轻用户制作控制程序的负担。控制系统具有:多个周边装置;以及控制装置,其包含能够在与多个周边装置之间共享的共享变量,控制装置具有:库生成部,其从共享变量的定义中提取至少包含偏移及...
  • 本发明涉及一种生产设备(1),该生产设备用于通过在该生产设备(1)上进行的生产工艺来制造尤其是医药的产品。
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