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最新专利技术
  • 一种飞灰熔融转化无害陶粒处理装置
    一种飞灰熔融转化无害陶粒处理装置_国发环保新材料(江门)有限公司_202410047364.9
    本发明涉及飞灰熔融铸造陶粒技术领域，具体为一种飞灰熔融转化无害陶粒处理装置，解决了利用飞灰熔融对陶粒制造完毕后，对陶粒进行集中打磨时，现有的打磨设备只能对陶粒进行单次打磨，导致打磨耗时长、打磨效率低的问题。一种飞灰熔融转化无害陶粒处理装置，...
    2026-05-10
  • 一种筒类零件精密珩磨在位修整装置及方法
    一种筒类零件精密珩磨在位修整装置及方法_南昌航空大学_202610268841.3
    本发明公开了一种筒类零件精密珩磨在位修整装置及方法，包括：机床底座，筒类零件通过定位夹具安装于机床底座上表面；与筒类零件对应的传动系统；连接于传动系统输出端的多油石珩磨头；滚珠丝杠型直线模组，相对机床底座以垂直方向设置，并与高精度位移控制系...
    2026-05-10
  • 一种轴承滚子超精装置及超精工艺
    一种轴承滚子超精装置及超精工艺_浙江诚本轴承滚子有限公司_202512044150.3
    本申请涉及一种轴承滚子超精装置及超精工艺，包括基座、摆动给进机构和工件驱动机构，摆动给进机构的摆动输出端连接有油石架，油石架上开设有油石槽，油石槽的一个侧面与油石槽的底面均匀敷设有弹性填充物，油石槽中嵌设有油石组，油石组包括沿油石槽侧面的弹...
    2026-05-10
  • 基于纳米磨料超声振动分散的碳化硅研磨系统与使用方法
    基于纳米磨料超声振动分散的碳化硅研磨系统与使用方法_北京理工大学长三角研究院(嘉兴)_202610135215.7
    本发明属于半导体加工技术领域，涉及基于纳米磨料超声振动分散的碳化硅研磨系统与使用方法，适用于半导体材料超精密研磨抛光。本发明利用振动发生器对管内研磨液施加高频振动，打破磨料的沉降趋势与团聚倾向；通过在分流结构各出口设置密度传感器，实时监测供...
    2026-05-10
  • 一种CMP实时抛光液浓度在线调控系统及方法
    一种CMP实时抛光液浓度在线调控系统及方法_深圳市川菱科技有限公司_202610239588.9
    本发明公开了一种CMP实时抛光液浓度在线调控系统及方法，所述系统包括：信号采集与预处理模块、耦合校正模型模块、浓度计算模块及闭环调控模块；所述信号采集与预处理模块，用于同步采集CMP抛光液的电学检测信号与光谱检测信号，并对两类信号进行预处理...
    2026-05-10
  • 一种弯曲孔内表面抛光及强化处理装置和方法
    一种弯曲孔内表面抛光及强化处理装置和方法_江苏大学_202610419808.6
    本发明公开一种弯曲孔内表面抛光及强化处理装置和方法，外部可控方形平面磁场放置在带弯曲孔的待研磨工件的前后左右四个侧方，外部可控环形磁场以弯曲孔为中心环绕在待研磨工件的外周围，柔软磁性研磨头由多级研磨头通过转动连接件可拆卸式前后串接组成，每级...
    2026-05-10
  • 一种应用于平面研磨机的微米级竖直轴
    一种应用于平面研磨机的微米级竖直轴_华粹智能装备有限公司_202610396124.9
    本发明公开了一种应用于平面研磨机的微米级竖直轴，包括竖直轴支架、丝杠组件、直线导轨组件、旋转平台组件及平衡气缸组件；平衡气缸组件的气缸通过连接块与承载旋转平台组件的上研磨主轴安装板连接，通过精密调节阀控制进气压力，以主动平衡运动部件的全部重...
    2026-05-10
  • 包括可移动阻尼器的抛光设备
    包括可移动阻尼器的抛光设备_三星电子株式会社_202511480515.0
    一种抛光设备包括：主轴，其在所述主轴的下部分中具有研磨轮；围绕所述主轴的壳体；和可移动阻尼器，其中，所述可移动阻尼器包括：下部支架，其设置在所述主轴的周界与所述壳体的内周界之间，其中所述主轴穿过所述下部支架；上部支架，其在竖直方向上与所述下...
    2026-05-10
  • 化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统
    化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统_华海清科股份有限公司_202610204916.1
    本发明提供一种化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统，化学机械抛光设备包括：沿化学机械抛光设备的长度方向顺序设置的前置单元、竖直传输单元和加工单元，加工单元包括位于下层的抛光区和位于上层的清洗区，分别用于对晶圆进行抛光和清洗；竖直...
    2026-05-10
  • 一种复合抛光机床及其抛光方法
    一种复合抛光机床及其抛光方法_北京微纳精密机械有限公司_202610384768.6
    本发明公开了一种复合抛光机床及其抛光方法，包括基座、传动机构、工作轴、修整轴和转台；传动机构设于基座上；工作轴设于传动机构上；工作轴上设有可绕Z向转动的夹持组件；修整轴设于传动机构上，修整轴上设有铣刀、车刀以及可绕Z向轴线转动的磨头；转台设...
    2026-05-10
  • 一种基于聚氨酯合成革的层控抛光垫及其制备方法
    一种基于聚氨酯合成革的层控抛光垫及其制备方法_万桦(常州)新材料科技有限公司_202610184527.7
    本发明涉及抛光打磨材料制备技术领域，具体为一种基于聚氨酯合成革的层控抛光垫及其制备方法。本发明克服了抛光垫的抛光速率衰减与微划痕缺陷问题。通过选用具有刚性脂环结构的二异氰酸酯与聚碳酸酯二醇合成高硬度水性聚氨酯骨架，采用机械发泡与中空微球复合...
    2026-05-10
  • 一种锆石胚料双筛料工位单排上料系统
    一种锆石胚料双筛料工位单排上料系统_浙江永耀机械科技有限公司_202610074208.0
    本发明涉及一种锆石胚料双筛料工位单排上料系统，包括两组落料筛料机构，每组落料机构包括落料机构和筛料机构；单排吸取转运机构，包括单排真空吸管，其上设有与排钻板上一排入料沉孔一一对应的真空吸附孔；二次定位机构，包括一组在夹紧状态或打开状态切换的...
    2026-05-10
  • 一种曲面自适应的柔性打磨装置及其打磨方法
    一种曲面自适应的柔性打磨装置及其打磨方法_南京理工大学泰州科技学院_202610096396.7
    本发明公开了一种曲面自适应的柔性打磨装置及其打磨方法，包括柔性打磨头、打磨机连接罩和调节连接件，柔性打磨头间隔于打磨机连接罩的罩口设置，打磨机连接罩内沿中心轴线设置有中心立柱，且中心立柱延伸至打磨机连接罩的罩口处与柔性打磨头铰接；若干调节连...
    2026-05-10
  • 一种作用于磨床砂轮上的超声振动结构及实现方法
    一种作用于磨床砂轮上的超声振动结构及实现方法_杭州科耐达科技有限公司_202610366455.8
    本发明涉及机械加工设备技术领域，公开了一种作用于磨床砂轮上的超声振动结构及实现方法，所述安装基台的外侧边端套设安装有超声波无线接收装置，所述超声波无线接收装置的内侧嵌入安装有超声波信号无线接收线圈，且超声波无线接收装置的信号接收端与外置的超...
    2026-05-10
  • 一种AVG抛光治具
    一种AVG抛光治具_杭州邦齐州科技有限公司_202610158507.2
    本发明公开了一种AVG抛光治具，涉及抛光加工技术领域，旨在解决人工抛光AVG边缘膜层时作业人员劳动强度大、作业稳定性差的问题。该治具包括夹持组件、限位座以及弹性施压元件；夹持组件用于固定抛光介质，其与限位座的导向结构滑动配合；弹性施压元件设...
    2026-05-10
  • 一种石墨用高精度柔性智能零点夹具
    一种石墨用高精度柔性智能零点夹具_内蒙古京航特碳科技股份有限公司_202610420922.0
    本发明涉及一种石墨用高精度柔性智能零点夹具，涉及柔性智能零点夹具技术领域。包括底台和打磨台，所述底台顶部安装有安装台，所述底台内部竖向限位滑动有顶台，所述底台内部设置有限位珠，所述安装台顶端插设有放置台，所述放置台内部安装有调节板。本发明，...
    2026-05-10
  • 晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质
    晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质_华海清科股份有限公司_202610239215.1
    本申请实施例提供了一种晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质，其中方法包括：获取第一磨损参数和第一测量信号，其中，所述第一磨损参数用于指示抛光垫的当前厚度，所述第一测量信号由电涡流传感器采集，所述第一测量信号与所述晶圆上金属薄膜的...
    2026-05-10
  • 磨边机及磨边机的研磨校正方法
    磨边机及磨边机的研磨校正方法_台达电子工业股份有限公司_202510302922.6
    本申请涉及一种磨边机的研磨校正方法，其中磨边机包括托载片材的研磨载台、砂轮及影像感测模块。研磨校正方法包括：通过影像感测模块获取感测影像，并检测感测影像中的片材部及砂轮部；计算片材部的第一值并计算砂轮部的第二值；根据第一值及第二值计算调整值...
    2026-05-10
  • 一种砂带磨抛机用的主被动柔顺力控装置及控制方法
    一种砂带磨抛机用的主被动柔顺力控装置及控制方法_广西大学_202512009256.X
    本发明公开了一种砂带磨抛机用的主被动柔顺力控装置及控制方法，涉及磨抛机械技术领域，包括接触轮基板、砂带机基板、线性柔顺调节器、导轨机构、距离检测机构和控制器；接触轮基板一侧设有旋转活动的磨抛接触轮，磨抛接触轮外绕设有磨抛砂带；砂带机基板固定...
    2026-05-10
  • 一种用于复杂曲面磨削的自适应控制方法
    一种用于复杂曲面磨削的自适应控制方法_上海工程技术大学_202610102832.7
    本发明公开了一种用于复杂曲面磨削的自适应控制方法，包括采集磨削过程中的声发射信号并进行预处理；从预处理后的声发射信号提取时域特征和频域特征；将时域特征和频域特征结合起来进行阈值判定，以识别出当前的磨削状态，若当前的磨削状态为不正常状态，则利...
    2026-05-10
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