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全息光刻传输系统
本公开提供一种全息光刻传输系统,包括平台、搬运设备、内版库以及光刻设备;搬运设备包括设备主体和执行机构,执行机构可转动的设置于设备主体上,相邻两个执行机构沿第三方向间隔设置;光刻设备上和内版库内均具有掩模板和硅片;在掩模传输状态,一个执行机...
基于数字孪生的微纳视觉光刻设备实时校准方法及系统
本发明公开了基于数字孪生的微纳视觉光刻设备实时校准方法及系统,包括基于数字孪生体合成预期对准标记图像;对预期对准标记图像和采集的实际对准标记图像进行二维频域变换,得到虚拟频域图像和实际频域图像;对比二者后得到误差频谱图,分离出归属于不同误差...
大口径衍射结构直写在线校准与误差抑制系统
本发明公开了大口径衍射结构直写在线校准与误差抑制系统,涉及衍射结构直写技术领域,包括误差检测模块、补偿生成模块、动态执行模块和闭环反馈模块。误差检测模块布设工件载台和波前传感器,获取残差光场并通过泽尼克多项式分解,分离载台机械振动导致的倾斜...
一种电路板显影机构
本发明公开了一种电路板显影机构,包括箱体,所述箱体的顶部开设有第一开口,且所述箱体的顶部固定连接有防尘罩,本发明在使用时,当电路板移动至喷液管下方时,通过第一水泵工作可将储液箱中的显影液抽送进喷液管中,并通过传动轮与从动轮之间的传动连接带动...
光致抗蚀剂图案形成方法及使用该形成方法制造的半导体器件
一种光致抗蚀剂图案形成方法,所述方法使用通常的光致抗蚀剂形成具有更大纵横比的图案;以及使用该形成方法制造的半导体器件。所述光致抗蚀剂图案形成方法通过在清洗步骤中使用加热的超纯水和/或加热的冲洗液,可以减少清洗后旋转干燥工艺过程中的图案塌陷缺...
一种半导体先进封装厚胶剥膜液及去胶方法
本发明涉及一种半导体先进封装厚胶剥膜液及去胶方法。通过有机溶剂、有机碱、解交联剂、溶胀剂、金属腐蚀抑制剂构建高效的剥膜液体系。针对半导体先进封装60‑120um的厚胶能进行快速的剥离不产生残留,且对PVD和电镀沉积的金属Cu、Al、Ti等不...
一种半导体先进封装厚型负胶剥膜液及去胶方法
本发明提供一种半导体先进封装厚型负胶剥膜液及去胶方法,按质量分数计,由以下组分组成:有机溶剂70‑90%,强碱性有机碱0.1‑3%、助溶剂1‑5%、潜溶剂1‑10%、表面活性剂0.1‑1%,金属腐蚀抑制剂1‑5%和余量水。本发明剥膜液中的碱...
基于图形处理器的莫尔条纹对准偏差快速提取方法及装置
本公开提供了一种基于图形处理器的莫尔条纹对准偏差快速提取方法、装置及设备,该方法包括:接收两组莫尔条纹信号,莫尔条纹信号通过解析表示对准状态的两组莫尔条纹图样获得;利用图形处理器对两组莫尔条纹信号进行并行协同的快速傅里叶变换,分别得到两组莫...
检查装置、其控制方法、存储介质和计算机程序产品
本发明提供了检查装置、其控制方法、存储介质和计算机程序产品。本发明涉及的所述检查装置包括:一个或更多个存储设备,其存储指令集;以及一个或更多个处理器,其执行所述指令集以进行如下操作:获取与打印材料对应的以页为单位的基准图像;经由所述以页为单...
定影马达控制方法、图像形成装置和存储介质
本申请提供了一种定影马达控制方法、图像形成装置和存储介质,该方法包括:当图像形成装置处于第一状态时,定影马达设置为第一驱动模式;当所述图像形成装置处于第二状态时,所述定影马达设置为第二驱动模式。在本申请实施例中,通过图像形成装置的不同状态,...
一种全息沉浸式装置
本发明提供一种全息沉浸式装置,涉及全息设备领域,包括:支撑件,所述支撑件为T形结构,支撑件的内部设有一个驱动槽,驱动槽为L形结构,驱动槽的侧边为倾斜状结构,支撑件的两侧分别设有一个U形板,每个移动杆的顶端外侧设有一个拉杆。需要存储或不使用的...
一种基于深度学习的细胞全息图自动聚焦与像差补偿相位重建方法
本发明公开一种基于深度学习的细胞全息图自动聚焦与像差补偿相位重建方法,基于离轴数字全息显微系统获取细胞样本的待处理离轴数字全息图,对原始全息图执行预处理操作增强数据量;用一种考虑了像差补偿的相位重建方法,对全息图批量处理以生成对应的相位图,...
用于显示钟表信息的钟表装置及其操作方法
本发明涉及一种用于显示钟表信息的钟表装置及其操作方法。所述装置包括:第一显示轮(10),其(i)包括呈现第一钟表信息的第一盘(11)和具备第一部分(11b)的第一边缘,并且(ii)被安装成围绕第一轴线(A1)枢转,第二部件(21),其包括具...
计时装置和程序产品
本公开涉及计时装置和程序产品,能抑制使用者的专注力的下降。对时间进行计测的计时装置(1)具备:控制部(60),通过使用者的操作来指示开始时间的计测的定时;计测部(30),对时间进行计测;以及报告部(45),报告与由计测部(30)计测到的时间...
一种原子钟控温与信号探测方法、装置及系统
本申请公开了一种原子钟控温与信号探测方法、装置及系统,所述方法包括:构建贴合镀膜缓冲气体原子气室内壁的环形微通道加热阵列与分布式温度传感探头的组合控温结构,通过所述组合控温结构对原子气室进行三维空间分区控温,同时优化控温算法的响应时间;在原...
一种时间脉冲生成装置和时间脉冲生成方法
本申请提供一种时间脉冲生成装置和时间脉冲生成方法,涉及时间同步技术领域。该时间脉冲生成装置中的参考时间码生成单元用于根据时间码标准信号和本地时钟信号生成时间码参考信号,并向锁相环输出所述时间码参考信号;锁相环的锁相输出端连接参考时间码生成单...
一种电话授时监测装置及方法
本发明具体涉及一种电话授时监测装置及方法,利用电话接收模块接收来自电话授时服务端的电话授时信号,并解析输出时码和1PPS信号,时间测量模块接收并选取卫星信号接收机和外部时码和1PPS信号作为主备时间基准,对电话信号接收模块输入的时码和1PP...
一种用于转毂试验台的车辆应急撤离控制系统及方法
本发明涉及转毂试验技术领域,特别是一种用于转毂试验台的车辆应急撤离控制系统及方法,包括感知模块,用于获取试验环境的状态信息;控制模块,与所述感知模块电连接,用于根据所述状态信息识别安全风险并生成撤离指令;执行模块,与所述控制模块信号连接,包...
差异性参数的点位诸元集群多模式控制方法及相关设备
本公开的差异性参数的点位诸元集群多模式控制方法及其设备。该方法通过地面控制系统的中心计算机接收上层指令,所述上层指令包括差异性参数;根据所述上层指令,确认实时响应状态;根据所述实时响应状态,启用所述地面控制系统的对应功能模块;设置所述的对应...
一种基于双主控模块的复杂功率控制系统
本申请提供了一种基于双主控模块的复杂功率控制系统,属于功率控制技术领域,具体包括电源模块、仲裁模块和双主控模块,双主控模块包括数据采集模块、第一CPU模块和第二CPU模块;电源模块为仲裁模块和双主控模块供电及复杂功率负载信号输入输出,数据采...
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