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最新专利技术
  • 碱金属蒸镀装置、预锂化方法及预锂化负极
    碱金属蒸镀装置、预锂化方法及预锂化负极_株式会社爱发科_202411595140.8
    本发明提供一种碱金属蒸镀装置，包括解卷机构、容纳卷绕机构的卷绕室、以及在解卷机构和卷绕室之间的容纳碱金属蒸镀机构的蒸镀室，其中卷绕室和蒸镀室之间设置气氛分离机构、并且卷绕室配置有能够将卷绕室在维持内部减压状态下进行移动的减压机构。此外，本发...
    2026-05-11
  • 一种多组分薄膜蒸镀膜厚监控与调整装置、方法及应用
    一种多组分薄膜蒸镀膜厚监控与调整装置、方法及应用_浙江晟霖益嘉科技有限公司_202610207751.3
    本发明提供了一种多组分薄膜蒸镀膜厚监控与调整装置、方法及应用，所述的多组分薄膜蒸镀膜厚监控与调整装置包括：运输模块，用于传输基板，以通过第一蒸镀源与第二蒸镀源在移动的基板上沉积膜层，设置有位置传感模组，在基板进入设定区域时产生触发信号；第一...
    2026-05-11
  • 一种用于溅射沉积装置的自动化温度控制系统及方法
    一种用于溅射沉积装置的自动化温度控制系统及方法_中北大学_202610118026.9
    本发明属于溅射沉积技术领域，提供了一种用于溅射沉积装置的自动化温度控制系统及方法，该系统通过集成真空计、气瓶、阀门、热电偶测温元件以及PID调节器等组件，实现了对溅射沉积过程中腔体温度的精确控制。系统利用热电偶实时监测腔体温度，并通过PID...
    2026-05-11
  • 一种金属基板与耐老化防腐膜的真空镀膜工艺
    一种金属基板与耐老化防腐膜的真空镀膜工艺_苏彩金属(江苏)有限公司_202512057861.4
    本发明涉及金属材料表面处理技术领域，公开了一种金属基板与耐老化防腐膜的真空镀膜工艺，包括：沉积过渡层后沉积防腐膜主层，实时采集负脉冲上升沿位移电流斜率并根据斜率的一阶导数过零点确定电荷吸附饱和点，驱动产生纳秒级受控过冲阶段以诱导原子横向迁移...
    2026-05-11
  • 方形基板上PVD沉积方法和装置
    方形基板上PVD沉积方法和装置_长沙华屹半导体有限公司_202512037376.0
    本发明涉及方形基板上PVD沉积方法和装置，包括以下步骤：S1、输入基板尺寸并安装配重；S2、计算磁体尺寸并设置磁体，设置旋转速度比率，进行PVD沉积；S3、调整磁体自旋转速度和主旋转速度，对沉积过程进行动态控制；S4、沉积完成后，停止各驱动...
    2026-05-11
  • 一种PVD镀膜分析控制方法及相关装置
    一种PVD镀膜分析控制方法及相关装置_富联裕展科技(深圳)有限公司_202511958519.5
    本申请公开了一种PVD镀膜分析控制方法及相关装置，用于稳定产品的色差。本申请中获取当前炉次之前的第一预设数量个炉次的色差值；基于第一预设数量个炉次的色差值中在色差规格范围的炉次的数量，得到当前炉次对应的当前基准点；若当前基准点大于预设基准值...
    2026-05-11
  • 一种基片电阻加热装置及脉冲激光沉积系统
    一种基片电阻加热装置及脉冲激光沉积系统_深圳市矩阵多元科技有限公司_202411587445.4
    本发明公开了一种基片电阻加热装置及脉冲激光沉积系统，基片电阻加热装置包括：基座，基座具有前侧开口的安装位，安装位的左右两侧分别设有导电部，导电部连接有铜导线；电阻加热结构，电阻加热结构包括安装部和基片，安装部插设于安装位，安装部能前后移动并...
    2026-05-11
  • 一种用于大尺寸光学元件镀膜的定位装架系统
    一种用于大尺寸光学元件镀膜的定位装架系统_中国科学院上海技术物理研究所_202610354386.9
    本发明公开了一种用于大尺寸光学元件镀膜的定位装架系统，该系统包括主体结构、升降机构、转动承载平台、运动机构及安全防护机构。主体结构采用三角架与尾架复合支撑的刚性设计。升降机构通过蜗轮蜗杆减速机驱动双滚珠丝杆同步运动，实现承载平台的精密升降。...
    2026-05-11
  • 一种原位形成的陶瓷基扩散障铂铝涂层及其制备方法和应用
    一种原位形成的陶瓷基扩散障铂铝涂层及其制备方法和应用_暨南大学_202610088183.X
    本发明公开了一种原位形成的陶瓷基扩散障铂铝涂层及其制备方法和应用，属于铂铝涂层系列扩散涂层技术领域。涂层自外向内依次包括：外层的铂铝涂层、原位生成的HfO2/Al2O3陶瓷基扩散障区以及互扩散层，其制备方法包括：在基体上依次引入Ni‑HfO...
    2026-05-11
  • 一种含微孔阵列与润滑储料的复合涂层及其制备方法
    一种含微孔阵列与润滑储料的复合涂层及其制备方法_珠海格力电器股份有限公司_202610145623.0
    本发明公开一种含微孔阵列与润滑储料的复合涂层及其制备方法，涉及耐磨涂层制备技术领域。该含微孔阵列与润滑储料的复合涂层的制备方法，包括以下步骤：S1.在基体表面制备渗氮层；S2.制备第一微孔阵列；S3.形成第一润滑储料层；S4.形成第一耐磨层...
    2026-05-11
  • 一种磁控溅射彩色涂层的半导体及制备方法
    一种磁控溅射彩色涂层的半导体及制备方法_山东大学_202512044075.0
    本发明属于半导体表面薄膜与物理气相沉积技术领域，涉及一种磁控溅射彩色涂层的半导体及制备方法。本发明通过在真空腔体内通入氩气与氮气，采用铁靶磁控溅射形成彩色薄膜，通过调节气压、功率和流量比，使晶体表面呈现橙色、金黄色、浅黄色等透亮色彩；并在其...
    2026-05-11
  • 靶材和层叠体
    靶材和层叠体_大同特殊钢株式会社_202511546960.2
    本发明提供适合于形成与基板的紧密贴合性优异且使用氯化铁时的蚀刻性也优异的紧密贴合层的靶材。靶材作为元素含有Ni、Cr、还含有Al和Zn中的至少一种，在将这些Ni、Cr、Al、Zn的合计设为100at％的情况下，Cr：含有4~14at％、Al...
    2026-05-11
  • 一种水冷导电环结构及磁控溅射薄膜沉积设备
    一种水冷导电环结构及磁控溅射薄膜沉积设备_深圳市矩阵多元科技有限公司_202411546002.0
    本发明公开了一种水冷导电环结构及磁控溅射薄膜沉积设备，水冷导电环结构包括：矩形框架，矩形框架包括四个拼接条和四个拼接部，相邻的两个拼接条之间通过拼接部连接固定，拼接条的内部沿自身长度方向设置冷却水道，拼接部的内部设置过渡水道，过渡水道连通相...
    2026-05-11
  • 一种具有良好界面结合强度的镍钒合金靶材组件及其绑定方法
    一种具有良好界面结合强度的镍钒合金靶材组件及其绑定方法_云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司_202610137775.6
    本发明公开一种具有良好界面结合强度的镍钒合金靶材组件及其绑定方法，涉及异质金属焊接技术领域。本发明的绑定方法具体包括以下步骤：分别对镍钒合金靶材绑定用端面和铜背板绑定用端面进行机械加工，对机械加工后的镍钒合金靶材绑定用端面进行喷砂处理，对镍...
    2026-05-11
  • 一种用于PLD生长CuC-1223超导薄膜的靶材及其制备方法和应用
    一种用于PLD生长CuC-1223超导薄膜的靶材及其制备方法和应用_中国科学院物理研究所_202610081010.5
    本发明属于高温超导材料技术领域，具体涉及一种用于PLD生长CuC‑1223超导薄膜的靶材及其制备方法和应用，所述靶材由Ba、Ca、Cu、O元素组成；其中，Ba、Ca、Cu三种金属元素的摩尔比为2 : (2‑3) : (3.5‑4.5)；且，...
    2026-05-11
  • 一种蒸镀方法及其应用
    一种蒸镀方法及其应用_江苏英联复合集流体有限公司_202610239828.5
    本发明提供了一种蒸镀方法及其应用，涉及真空蒸镀的技术领域，包括：对所述蒸发舟、所述钨网以及设于所述钨网上的固态铝源进行预加热处理；预熔化处理，使所述固态铝源熔化，形成覆盖部分所述钨网表面的铝液；预蒸发处理，使所述铝液蒸发，形成初始浸润区域；...
    2026-05-11
  • 一种高压热压模具抗氧化涂层及其制备方法
    一种高压热压模具抗氧化涂层及其制备方法_西安碳沣新材料科技有限公司_202610459604.5
    本申请涉及合金涂层材料技术领域，具体公开了一种高压热压模具抗氧化涂层及其制备方法。一种高压热压模具抗氧化涂层，包括从模具基体向外依次设置的过渡层和功能层，过渡层为TiN‑SiC梯度复合层，功能层以Al2O3‑NiCrAlY为基体，复合掺杂经...
    2026-05-11
  • 一种防止蒸发源污染的火山口装置
    一种防止蒸发源污染的火山口装置_上海新微技术研发中心有限公司_202411587532.X
    一种防止蒸发源污染的火山口装置，包括：坩埚组件包括旋转台，以及设置在旋转台上方的多个坩埚，坩埚内放置有金属源，旋转台驱动坩埚绕其中心轴线转动；火山口组件包括旋转盘以及驱动旋转盘转动的旋转轴，旋转盘包括多个与坩埚对应设置的火山口；在坩埚旋转的...
    2026-05-11
  • 一种高相纯度Ce掺杂铁石榴石磁光薄膜及其制备方法
    一种高相纯度Ce掺杂铁石榴石磁光薄膜及其制备方法_电子科技大学_202610245456.7
    本发明属于磁光薄膜材料领域，具体涉及一种高相纯度Ce掺杂铁石榴石磁光薄膜及其制备方法。本发明通过薄膜制备工艺先在硅基衬底上沉积一层50‑60 nm厚度的YIG薄膜作为种子层；然后在YIG上沉积10‑15 nm厚度的非晶Ce : RIG薄膜，...
    2026-05-11
  • 冰刀TiN复合涂层及其制备方法
    冰刀TiN复合涂层及其制备方法_成都体育学院_202610453350.6
    本发明属于硬质涂层领域，尤其是一种冰刀TiN复合涂层及其制备方法，冰刀TiN复合涂层包括从内至外依次设置的钛打底层、导热调控层和冰屑排斥层；所述导热调控层为掺杂稀土元素的柱状晶TiN结构，且导热调控层具有以下特性：当‑25℃≤界面温度＜0℃...
    2026-05-11
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