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  • 本发明公开了一种应用于平面研磨机的微米级竖直轴,包括竖直轴支架、丝杠组件、直线导轨组件、旋转平台组件及平衡气缸组件;平衡气缸组件的气缸通过连接块与承载旋转平台组件的上研磨主轴安装板连接,通过精密调节阀控制进气压力,以主动平衡运动部件的全部重...
  • 一种抛光设备包括:主轴,其在所述主轴的下部分中具有研磨轮;围绕所述主轴的壳体;和可移动阻尼器,其中,所述可移动阻尼器包括:下部支架,其设置在所述主轴的周界与所述壳体的内周界之间,其中所述主轴穿过所述下部支架;上部支架,其在竖直方向上与所述下...
  • 本发明提供一种化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统,化学机械抛光设备包括:沿化学机械抛光设备的长度方向顺序设置的前置单元、竖直传输单元和加工单元,加工单元包括位于下层的抛光区和位于上层的清洗区,分别用于对晶圆进行抛光和清洗;竖直...
  • 本发明公开了一种复合抛光机床及其抛光方法,包括基座、传动机构、工作轴、修整轴和转台;传动机构设于基座上;工作轴设于传动机构上;工作轴上设有可绕Z向转动的夹持组件;修整轴设于传动机构上,修整轴上设有铣刀、车刀以及可绕Z向轴线转动的磨头;转台设...
  • 本发明涉及抛光打磨材料制备技术领域,具体为一种基于聚氨酯合成革的层控抛光垫及其制备方法。本发明克服了抛光垫的抛光速率衰减与微划痕缺陷问题。通过选用具有刚性脂环结构的二异氰酸酯与聚碳酸酯二醇合成高硬度水性聚氨酯骨架,采用机械发泡与中空微球复合...
  • 本发明涉及一种锆石胚料双筛料工位单排上料系统,包括两组落料筛料机构,每组落料机构包括落料机构和筛料机构;单排吸取转运机构,包括单排真空吸管,其上设有与排钻板上一排入料沉孔一一对应的真空吸附孔;二次定位机构,包括一组在夹紧状态或打开状态切换的...
  • 本发明公开了一种曲面自适应的柔性打磨装置及其打磨方法,包括柔性打磨头、打磨机连接罩和调节连接件,柔性打磨头间隔于打磨机连接罩的罩口设置,打磨机连接罩内沿中心轴线设置有中心立柱,且中心立柱延伸至打磨机连接罩的罩口处与柔性打磨头铰接;若干调节连...
  • 本发明涉及机械加工设备技术领域,公开了一种作用于磨床砂轮上的超声振动结构及实现方法,所述安装基台的外侧边端套设安装有超声波无线接收装置,所述超声波无线接收装置的内侧嵌入安装有超声波信号无线接收线圈,且超声波无线接收装置的信号接收端与外置的超...
  • 本发明公开了一种AVG抛光治具,涉及抛光加工技术领域,旨在解决人工抛光AVG边缘膜层时作业人员劳动强度大、作业稳定性差的问题。该治具包括夹持组件、限位座以及弹性施压元件;夹持组件用于固定抛光介质,其与限位座的导向结构滑动配合;弹性施压元件设...
  • 本发明涉及一种石墨用高精度柔性智能零点夹具,涉及柔性智能零点夹具技术领域。包括底台和打磨台,所述底台顶部安装有安装台,所述底台内部竖向限位滑动有顶台,所述底台内部设置有限位珠,所述安装台顶端插设有放置台,所述放置台内部安装有调节板。本发明,...
  • 本申请实施例提供了一种晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质,其中方法包括:获取第一磨损参数和第一测量信号,其中,所述第一磨损参数用于指示抛光垫的当前厚度,所述第一测量信号由电涡流传感器采集,所述第一测量信号与所述晶圆上金属薄膜的...
  • 本申请涉及一种磨边机的研磨校正方法,其中磨边机包括托载片材的研磨载台、砂轮及影像感测模块。研磨校正方法包括:通过影像感测模块获取感测影像,并检测感测影像中的片材部及砂轮部;计算片材部的第一值并计算砂轮部的第二值;根据第一值及第二值计算调整值...
  • 本发明公开了一种砂带磨抛机用的主被动柔顺力控装置及控制方法,涉及磨抛机械技术领域,包括接触轮基板、砂带机基板、线性柔顺调节器、导轨机构、距离检测机构和控制器;接触轮基板一侧设有旋转活动的磨抛接触轮,磨抛接触轮外绕设有磨抛砂带;砂带机基板固定...
  • 本发明公开了一种用于复杂曲面磨削的自适应控制方法,包括采集磨削过程中的声发射信号并进行预处理;从预处理后的声发射信号提取时域特征和频域特征;将时域特征和频域特征结合起来进行阈值判定,以识别出当前的磨削状态,若当前的磨削状态为不正常状态,则利...
  • 本发明涉及无心磨床技术领域,具体为一种无心磨床恒切线角磨削控制系统,包括恒切线角控制模块和托架升降机构,恒切线角控制模块计算工件的理论中心高h0,然后试磨工件,砂轮线速度和导轮线速度保持恒定,托架升降机构根据工件外形调整工件中心高h来微调切...
  • 本发明公开了一种基于两自由度力控磨抛机器人的曲面自适应磨抛方法,获取待加工工件表面图像并提取局部曲率信息;根据所述局部曲率信息计算前馈补偿量,并基于所述前馈补偿量对预设期望位置及预设期望速度进行修正,获得修正后的期望位置及修正后的期望速度;...
  • 本发明提出了一种精密抛光除屑回收装置,包括:加工台,所述加工台顶部的台板上安装有打磨机;所述加工台上安装有支撑架;所述支撑架上安装有容器,容器内部用于储存碎屑吸附液;所述加工台上安装有注入管,注入管固定穿入容器内部;还包括安装在所述支撑架上...
  • 本发明公开了一种用于生产金刚石复合片的内组装基体清洁方法,涉及金刚石复合片相关领域。本发明利用惰性低温气氛、带电磨料及双级改性磨料的协同作用,实现了聚晶金刚石复合片基体表面的高效清理与均匀粗化,其中,惰性低温气氛有效抑制了清理过程中的二次氧...
  • 本申请公开了一种壳体毛刺打磨装置,包括喷射打磨组件、打磨箱、驱动组件、安装组件、圈数检测组件、收卷组件、滑动架和喷射组件,喷射打磨组件设置在打磨箱的一侧;驱动组件转动设置在打磨箱的底部;安装组件设置在驱动组件上;圈数检测组件设置在驱动组件上...
  • 本发明涉及机械表面处理技术领域,特别涉及一种大幅面钢板曲面变化轨迹匹配打磨装置及打磨工艺,所述装置包括:移动桁架;移动箱,安装于移动桁架上并由移动桁架带动移动;打磨组件,通过框架安装于移动箱的底端;本方案中,通过移动桁架与移动箱的三轴联动实...
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