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  • 本发明涉及铣刀抛光技术领域,尤其涉及一种便于集尘的铣刀表面加工用抛光机床,包括底板,所述底板顶端左侧设置有角度调节机构,所述角度调节机构上设置有集尘机构,所述底板顶端右侧设置有移动机构,所述移动机构上设置有斜向调节移动机构和旋转限位机构;所...
  • 本发明公开了一种晶片边缘抛光滚筒,包括该晶片边缘抛光滚筒的晶片边缘抛光设备,以及晶片边缘抛光方法。晶片边缘抛光滚筒包括:设置在第一主体部分处的多个第一抛光单元;设置在第一主体部分下方的第二主体部分处的多个第二抛光单元;构造成使第一主体部分和...
  • 本发明公开了一种半导体用不锈钢气管组件内表面处理方法,所述半导体用不锈钢气管组件内表面处理方法包括以下步骤:第一步,将所述不锈钢气管组件的内表面通过基础预处理使其表面粗糙度达到可进行精加工的精度;第二步,通过使用粒度逐级减小的磨料进行多级机...
  • 本发明涉及一种流珠式去毛刺研磨装置,涉及研磨装置技术领域,本发明有效通过对研磨介质的受控下料与循环输送设计,实现研磨过程的稳定与均匀,避免下料不均影响去毛刺效果;结合传感器监测与控制系统调节,可根据研磨状态动态补充研磨介质,提高加工一致性;...
  • 本发明涉及球面研磨技术领域,具体公开了一种铝合金法兰的球面研磨机床。本发明包括机台,设置在所述机台顶部外周侧的框架组件,对铝合金法兰的内外周面进行研磨的复合研磨单元,对铝合金法兰的球面进行研磨的球面研磨单元;首先通过预清洁组件在被加工面上破...
  • 一种基于摩擦电增强基底化学机械抛光的方法,属于材料的化学机械抛光领域。在常规的抛光液体系中,添加具有不同电负性的介电材料,构成均匀分散体系,在抛光过程中使抛光材料颗粒之间及抛光颗粒与SiC晶片表面发生高频摩擦,产生摩擦电荷,大量生成活性氧物...
  • 本发明公开一种智能研磨抛光机,涉及研磨抛光技术领域,包括容器,容器中心设有通孔,通孔下方设置有升降机构,容器内开设有若干用于收集研磨液的渗液孔,容器底部安装有集液漏斗,集液漏斗上连通有排液管,排液管与外部收集装置连通,通孔上方设置有研磨抛光...
  • 本申请提供晶圆吸附垫及其制造方法,能够防止损伤晶圆、且能够使晶圆相对于保持台高精度地定位。具有多个起毛部(15),多个起毛部(15)以使硅晶圆(20)的中心部(第三中心轴(CA3))相对于载置面(12)的中心部(第二中心轴(CA2))不发生...
  • 本发明公开了一种8英寸或更小尺寸的承载头和化学机械抛光设备,该承载头包括基座、保持环、气膜、压环、第一卡环和第二卡环;所述气膜包括形成为圆形的底板、沿所述底板的外周沿竖直向上延伸的侧壁,所述侧壁的顶部向内延伸后再向外弯折延伸至被所述压环和所...
  • 本发明公开了一种超薄单晶硅片脱胶工序免清理残胶的方法,首先用粘铁板胶水将塑料板与铁板粘接在一起,再用粘棒胶水将单晶方棒与塑料板粘接在一起;粘接完成的硅棒固化≥2H后,运送至切片机,采用金刚线进行硅片切割,硅棒切割110~150min,完成切...
  • 本发明涉及微型砂轮领域,具体为一种一体式流体增效电镀砂轮,包括一体成型的砂轮基体,所述基体包括:用于安装的中心轴部;环绕所述中心轴部的环形磨削体,其外圆周面上设有磨料的承载区;位于所述中心轴部与所述环形磨削体之间的流体动力单元;多个贯穿所述...
  • 本发明公开了一种薄壁环状产品立磨加工装夹装置及加工方法,包括粘蜡固定底座和多规格更换式产品环面固定件,所述的粘蜡固定底座上设有承接面,在所述的产品环面固定件上设置有贴合限位面;所述粘蜡固定底座和产品环面固定件通过热熔蜡与待加工薄壁环状产品形...
  • 本申请涉及一种用于高精度数控机床导轨磨床研磨工装机构,属于数控机床领域;该工装机构包括机床、沿横向滑动设置在机床上的导轨和设置在导轨上方的磨刀;导轨上设置有安装座;安装座上转动设置有第一夹持件;第一夹持件开设有弧形凹槽;弧形凹槽内滑动设置有...
  • 本发明公开了一种用于板状拉伸试样的打磨抛光夹具,涉及材料加工工程技术领域,包括安装盘、储液盒以及夹持部;安装盘作为基础支撑部件,安装盘中心处设置有外接旋转驱动装置的旋转轴接口,储液盒设置于安装盘上方,夹持部设置于安装盘远离储液盒的表面;储液...
  • 本发明公开了一种平面磨床液压驱动滚珠丝杠副进给装置,包括滑动安装于拖板上的磨头体,拖板前、后端分别设有手动、自动进给机构;手动进给机构包括手轮、推拉杆和轴承组件,推拉杆安装于轴承组件的内轴承套中,推拉杆与内轴承套之间滑动配合有键与键槽,手轮...
  • 本发明提供一种合成石英玻璃基板的制造方法,其包括:评价在合成石英玻璃基板的加工表面中加工损伤层的深度的评价步骤,和基于加工损伤层的深度的评价结果去除加工损伤层的去除步骤。基于评价加工表面中加工损伤层的深度,去除加工损伤层。能够可靠且有效地去...
  • 本发明公开了一种机械零件磨削的砂轮修整装置,该装置由修复结构与修复辅助结构组成,修复辅助结构设有定位夹具、主从动齿轮传动机构、气压检测与定位停转组件、高压气路与钢砂修锐单元;修复结构包含下行驱动组件、单点金刚笔修复组件与磨削液供给机构;装置...
  • 本发明涉及特种装备自动化技术领域,具体涉及一种管材切割清洗装置及方法,包括机架,机架上设有:抓取机构,包括电磁吸附单元和带动所述电磁吸附单元运动的抓取位移组件;支撑机构,包括两个支撑工作台和带动所述支撑工作台运动的支撑位移组件,每个支撑工作...
  • 本发明公开一种轴承深孔内表面可控空化抛光强化装置及加工方法,超声空化振动环带动磁粉储存环同步振动,扩张角空化喷嘴向下喷射外扩射流,螺旋流动的射流经过超声空化振动环时诱发空化初生并提高射流含气量,磁粉储存环孔被振出并卷入射流,螺旋贴壁射流优先...
  • 本发明公开了一种高硬度砂轮及其毛坯加工装置,属于砂轮生产加工技术领域。该装置包括工作层、过渡层和基体层,所述工作层的顶部开设有螺旋散热槽,所述螺旋散热槽内喷涂高导热铜粉涂层;所述基体层的外壁开设有散热导流槽;所述基体层的中部嵌设有不锈钢网;...
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