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最新专利技术
  • 用于光刻模拟的掩模3D(M3D)建模
    用于光刻模拟的掩模3D(M3D)建模_ASML荷兰有限公司_202480049414.5
    一种光刻模拟的方法，包括：获得对应于掩模图案的掩模3D(M3D)掩模图像的较低阶分量；通过使用机器学习(ML)模型来生成所述M3D掩模图像的较高阶分量，所述机器学习(ML)模型被提供有对应于所述掩模图案的输入；以及组合所述M3D掩模图像的所...
    2026-04-19
  • 隔膜监测设备和方法以及光刻设备
    隔膜监测设备和方法以及光刻设备_ASML荷兰有限公司_202480057235.6
    一种用于监测在光刻设备中使用的隔膜的监测子系统，该监测子系统包括：光源，被配置为照射隔膜，该隔膜被布置在光刻设备的第一区域和第二区域之间；光检测器，被配置为测量入射在所述光检测器的视场上的光的总功率，光从光源发射并被隔膜反射；和控制器，被配...
    2026-04-19
  • 设定点生成器、位置控制系统、平台装置和曝光装置
    设定点生成器、位置控制系统、平台装置和曝光装置_ASML荷兰有限公司_202480058135.5
    本发明提供了一种设定点生成器，用于包括主模块和从模块的定位器的位置控制系统，所述定位器被配置为使物体发生位移，所述设定点生成器被配置为在所述物体的位移期间：‑确定所述主模块的主设定点轨迹；‑借助于优化算法确定所述从模块的从设定点轨迹；所述优...
    2026-04-19
  • 光刻设备和气锁漏斗
    光刻设备和气锁漏斗_ASML荷兰有限公司_202480058569.5
    一种光刻设备，包括：衬底台；投影系统；气锁漏斗；和膜。衬底台被配置为保持衬底。投影系统包括被配置为将辐射投影到衬底的目标部分上的光学器件。膜由气锁漏斗支撑并被布置在投影系统与衬底台之间。气锁漏斗可以限定喷嘴，该喷嘴被布置为在膜附近提供气体，...
    2026-04-19
  • 来自金属有机抗蚀剂的正型图案
    来自金属有机抗蚀剂的正型图案_默克专利股份有限公司_202480058266.3
    本发明和要求保护的主题涉及金属有机抗蚀剂(MOR)抗蚀剂在使用光化辐射(特别是波长为13.5nm的EUV辐射)的高分辨率图案化中正型加工中的用途。
    2026-04-19
  • 感放射线性组合物、浸液上层膜形成用组合物、图案形成方法及化合物
    感放射线性组合物、浸液上层膜形成用组合物、图案形成方法及化合物_JSR株式会社_202480057970.7
    本发明提供一种可实现表面改质剂的氟减少，并且在图案形成时以充分的水准发挥感度或CDU、LWR、拨水性、显影缺陷抑制性的感放射线性组合物、图案形成方法及化合物。一种感放射线性组合物，含有：第一聚合物，包含具有酸解离性基的结构单元(I)；第二聚...
    2026-04-19
  • 感放射线性组合物、浸液上层膜形成用组合物、图案形成方法及化合物
    感放射线性组合物、浸液上层膜形成用组合物、图案形成方法及化合物_JSR株式会社_202480058520.X
    本发明提供一种可实现表面改质剂的氟减少，并且在图案形成时以充分的水准发挥感度或CDU、LWR、拨水性、显影缺陷抑制性的感放射线性组合物、图案形成方法及化合物。一种感放射线性组合物，含有：第一聚合物，包含具有酸解离性基的结构单元(I)；第二聚...
    2026-04-19
  • 投射曝光设备的照明光学单元的支撑结构
    投射曝光设备的照明光学单元的支撑结构_卡尔蔡司SMT有限责任公司_202480058358.1
    一种用于微光刻投射曝光设备(1)的照明光学单元(15)的一侧开放式支撑结构(36)，所述支撑结构具有沿纵向(37)延伸的框架(46)，其中一或多个构件用于增加框架(46)的刚性，其中肋条(48)和/或平面加强元件(47、42、43)用作加强...
    2026-04-19
  • 投射系统表征系统和方法
    投射系统表征系统和方法_ASML荷兰有限公司_202480059212.9
    本文公开了计算系统，计算系统被配置为执行用于确定光学系统响应于经图案化的光的像差的方法，方法包括：确定测试特征的组合，测试特征的组合实质上对应于图案形成设备上的产品特征的布置，产品特征被布置为在光穿过光学系统之前对光进行图案化；以及确定由光...
    2026-04-19
  • 基片处理方法、基片处理装置和计算机存储介质
    基片处理方法、基片处理装置和计算机存储介质_东京毅力科创株式会社_202480058050.7
    一种对基片进行处理的基片处理方法，其特征在于：用含Al的含金属填入液填入由化学放大型抗蚀剂在所述基片上形成的抗蚀剂图案之间，之后除去所述化学放大型抗蚀剂，来形成金属氧化膜图案。
    2026-04-19
  • 含结晶性聚酯的调色剂
    含结晶性聚酯的调色剂_巴川集团股份有限公司_202480059140.8
    提供一种低温定影性优异且耐热保存性更优异的调色剂。一方式的调色剂含有树脂、蜡及颜料。另外，所述树脂含有结晶性聚酯及非晶质树脂，所述结晶性聚酯以碳原子数为10~12的二羧酸组分及碳原子数为2~8的二醇组分为构成原料。
    2026-04-19
  • 用于容纳从中间转印带去除的废调色剂的结构
    用于容纳从中间转印带去除的废调色剂的结构_惠普发展公司, 有限责任合伙企业_202380102120.X
    提供了一种中间转印带组件。清洁刀片用于从中间转印带的表面去除废调色剂。第一废调色剂容纳单元用于容纳从清洁刀片落到与中间转印带相反的第一侧的废调色剂。第二废调色剂容纳单元用于容纳从清洁刀片落到与第一侧相反的第二侧的废调色剂。遮板能够在打开位置...
    2026-04-19
  • 结合线性预测模型的自适应观测方法
    结合线性预测模型的自适应观测方法_舍弗勒技术股份两合公司_202480057556.6
    本发明涉及一种用于在时刻t对系统进行自适应观测的方法，该系统包括：‑一组输入量，该组输入量包括该控制设定点ut并且以如下向量的形式建模：Ut；‑一组输出量，该组输出量以如下向量的形式建模：Yt；以及‑一组表示该系统的状态的量，该组量以如下向...
    2026-04-19
  • 工业机械的控制装置以及控制方法
    工业机械的控制装置以及控制方法_发那科株式会社_202380102214.7
    在测试运转且进行按压控制的情况下，提前防止针对移动体的用户不希望的动作。通过程序指令来执行将位于工业机械内的移动体按压于被按压物的按压控制的控制装置具有：第一判定部，其判定是否正在对包含程序指令的程序进行测试运转；第二判定部，其根据程序指令...
    2026-04-19
  • 用于在自动拆卸处理中对物体进行3D扫描的设备、系统和方法
    用于在自动拆卸处理中对物体进行3D扫描的设备、系统和方法_罗伯特·博世有限公司_202380102082.8
    各方面涉及一种用于在自动拆卸处理中生成物体(110)的3D扫描(160)的设备(100)，所述设备(100)包括：3D扫描仪(120)，3D扫描仪(120)被配置为安装在机器(130)上，机器(130)被配置为以至少一个旋转运动和至少一个平...
    2026-04-19
  • 考量寿命因子的化学工艺的收率预测模拟方法
    考量寿命因子的化学工艺的收率预测模拟方法_SK燃气株式会社_202480058950.1
    本发明的目的在于，提供一种收率预测模拟系统及方法，其可以基于第一周期期间的工艺运行数据，预测第二周期期间的收率，反映标签变动量，对于收率预测进行模拟。并且，本发明还提供一种收率预测模拟系统及方法，其可以基于催化剂寿命以及相应的收率变化，将第...
    2026-04-19
  • 原始传感器数据输入至控制系统
    原始传感器数据输入至控制系统_费希尔-罗斯蒙特系统公司_202480053526.8
    使用原始传感器数据输入的用于监视和控制操作(例如，汽车制造操作、化学加工操作、石油和天然气操作等)的系统、方法和介质。一种系统包括传感器装置和与该传感器装置电通信的控制系统。传感器装置包括传感器和转换器电路，该传感器被配置为生成指示被测过程...
    2026-04-19
  • 用于映射和导航系统的利用地板分割的杂物整理机器人
    用于映射和导航系统的利用地板分割的杂物整理机器人_克拉特博特股份有限公司_202480053944.7
    公开了一种用于映射和导航系统的利用地板分割的杂物整理机器人的方法及装置，由此感知模块与导航模块使用分割和伪激光扫描或点云变换对来自机器人感测系统中激光雷达传感器和相机的激光雷达数据和图像数据进行变换，以生成全局图和局部图。机器人位姿和图被传...
    2026-04-19
  • 可移动平台的控制方法、装置、可移动平台及介质
    可移动平台的控制方法、装置、可移动平台及介质_深圳市大疆创新科技有限公司_202380101797.1
    可移动平台的控制方法、装置、可移动平台及介质，方法包括：获取目标物的走势信息，目标物与可移动平台的运动任务相关联；根据走势信息确定可移动平台运动经过目标物的路径，其中，路径先后包括第一路径段和第二路径段，第一路径段具有第一跟随灵敏度，第二路...
    2026-04-19
  • 多方向输入装置的制造方法以及多方向输入装置
    多方向输入装置的制造方法以及多方向输入装置_三美电机株式会社_202480056749.X
    多方向输入装置(1)的制造方法(S100)包括通过保持机构(7)弹性地保持操作轴(63)的工序(S130)。工序(S130)包括以下工序：将操作轴(63)插通于上侧板簧(91U)的插通孔(913)；将操作轴(63)插通于轴套(72)；以及将...
    2026-04-19
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