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买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网获悉沈阳工业大学申请的专利一种联动膜电容式压力敏感芯片成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2019-07-19发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2018214753306,技术领域属于G01L1/14(20060101);该专利一种联动膜电容式压力敏感芯片是由沈阳工业大学设计研发完成,并于2018-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。 一种联动膜电容式压力敏感芯片,该芯片包括衬底硅片(1)、上极板(2)和下极板(3);衬底硅片(1)的上部开有凹槽,下极板(3)设置在凹槽内,上极板(2)盖在凹槽开口处,使得凹槽形成密封腔体;下极板由淀积在二氧化硅牺牲层上的多晶硅材料制成,其上设置有腐蚀孔,通过其上的腐蚀孔去除牺牲层材料,实现下极板的悬空,其悬空高度由牺牲层厚度来决定。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 以上内容由龙图腾AI智能生成。 |
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