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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网获悉天津大学申请的专利一种铌酸锂脊型光波导的制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-02-07发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2019110143201，技术领域属于G02B6/13(20060101)；该专利一种铌酸锂脊型光波导的制备方法是由天津大学设计研发完成，并于2019-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种铌酸锂脊型光波导的制备方法，选择光学级Z切0.35mm厚的同成份铌酸锂晶片作为基底，在240℃下进行轻质子交换接近20小时，制成平面波导，质子源采用苯甲酸和苯甲酸锂的混合物；在+Z面平面波导上采用紫外光刻制作出条宽近2‑4μm、厚度为近100‑200nm的SiO2掩模；将做好掩模的晶片在240℃下再进行质子交换近1小时，所得到的交换层厚度近0.7μm，质子源为纯苯甲酸；室温下进行湿法刻蚀近4小时，将质子交换层全部刻蚀掉，得到刻蚀后的脊高近0.7μm，刻蚀液采用体积比HF:HNO3＝1:3的HF‑HNO3混合液。本发明所制备出的脊型光波导表面光滑、损耗低、高质量；避免了高温退火环节，更好的保留了波导区域的晶向结构；整体工艺环节少，难度相对较低，降低了制作成本。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 以上内容由龙图腾AI智能生成。 |
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