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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网获悉燕山大学申请的专利一种平面复合应变Si/SiGe CMOS器件及制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2018-11-06发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2018104988795，技术领域属于H01L27/092(2006.01)I；该专利一种平面复合应变Si/SiGe CMOS器件及制备方法是由燕山大学设计研发完成，并于2018-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。 一种平面复合应变Si/SiGe CMOS器件及制备方法，选取晶向为100的N掺杂的单晶Si衬底；在衬底上外延一层Ge组分渐变的SiGe层；在SiGe层表面外延一层Si0.85Ge0.15层；光刻Si0.85Ge0.15虚拟衬底右侧区域，赝晶生长一层应变Si0.69Ge0.30C0.01层；光刻应变Si0.69Ge0.30C0.01层，在两端嵌入Si0.5Ge0.5层，采用CMP技术将器件表面平面化；赝晶生长一层应变Si层；在器件中部形成STI结构；光刻并进行离子注入形成P阱和N阱；淀积栅氧化层和NMOS多晶硅层并光刻形成NMOS栅结构；在NMOS的两端形成嵌入SiC层，进行离子注入形成源/漏区；淀积PMOS多晶硅栅，光刻多晶硅栅，利用自对准工艺形成PMOS的源/漏区。本发明在NMOS和PMOS沟道区同时采用单轴和双轴复合应变，大幅度提高载流子的移率和器件工作速度，整个器件均采用平面工艺，和已有的硅工艺兼容，可实现大规模集成。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 以上内容由龙图腾AI智能生成。 |
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