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天津大学郭彤老师一件发明专利完成成果转化

发表时间:2022年07月28日 来源:龙图腾

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龙图腾网获悉天津大学申请的专利基于纳米测量与倾斜扫描白光干涉微结构测试系统及方法成功实施成果转化。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2011-02-16发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:201010274207X,技术领域属于G01B11/24(2006.01)I;该专利基于纳米测量与倾斜扫描白光干涉微结构测试系统及方法是由天津大学设计研发完成,并于2010-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于纳米测量与倾斜扫描白光干涉微结构测试系统及方法,系统有图像采集卡,数字CCD摄像机,显微光学系统,干涉物镜,可调倾斜工作台,PC机,纳米测量机,工作台倾斜控制器,通过光纤向显微光学系统提供光源的白光光源,PC机还分别连接图像采集卡和工作台倾斜控制器。方法是在纳米测量机的工作平台上固定可调倾斜工作台,将被测样品至于其上,由PC机控制纳米测量机带动可调倾斜工作台沿其倾斜角度完成扫描,CCD数字摄像机采集图像并由图像采集卡传至PC机进行后续处理;对于采集的图像进行追踪并进行干涉信号的提取后,进行零级干涉条纹的位置进行定位,最终确定表面形貌。本发明为无损的检测,消除了光源热效应的影响,可以实现0.1nm的位移分辨力。

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以上内容由龙图腾AI智能生成。

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