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浙江理工大学李培刚老师一件发明专利完成成果转化

发表时间:2022年07月18日 来源:龙图腾

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龙图腾网获悉浙江理工大学申请的专利一种单双极共存双层薄膜结构阻变储存器及其制备方法成功实施成果转化。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2016-01-06发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2015106133073,技术领域属于H01L45/00(2006.01)I;该专利一种单双极共存双层薄膜结构阻变储存器及其制备方法是由浙江理工大学设计研发完成,并于2015-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本发明公开了一种单双极共存双层薄膜结构阻变储存器及其制备方法。该阻变存储器具有结构稳定和单双极共存的存储性能,具体是指以金属Ti/Au为上电极、以ITO作为衬底和下电极,利用射频磁控沉积技术在ITO衬底上先后镀上Cu2O和Ga2O3薄膜而形成阻变层,最后利用射频磁控溅射的方法在ITO的衬底上和已经镀氧化镓的薄膜上溅射钛(Ti)和金(Au)薄膜,从而得到了ITO/Cu2O/Ga2O3/Ti/Au结构的存储器件,并实现了单双极阻变共存、稳定的保持特性的存储性能。本发明的优越性在于:通过异质结界面处缺陷的移动而产生单双极阻变,制备的阻变存储器件具有稳定的保持特性、循环特性等多种优异的阻变存储性能,即综合存储性能的显著提高。

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以上内容由龙图腾AI智能生成。

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