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合肥工业大学于永强老师一件发明专利完成成果转化

发表时间:2022年07月07日 来源:龙图腾

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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利一种硅兼容双极性异质结紫外-近红外双波段光电探测器及其制备方法成功实施成果转化。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-11-27发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2020109316518,技术领域属于H01L31/101(20060101);该专利一种硅兼容双极性异质结紫外-近红外双波段光电探测器及其制备方法是由合肥工业大学设计研发完成,并于2020-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本发明公开了一种硅兼容双极性异质结紫外‑近红外双波段光电探测器及其制备方法,该探测器的结构为:在单晶硅衬底的上、下表面皆设置有SiO2绝缘层;在各层SiO2绝缘层的中心皆形成一盲孔;在上层盲孔内沉积有二维2H‑MoSe2材料,在下层盲孔内沉积有二维1T‑WS2材料,两种材料与单晶硅衬底形成2H‑MoSe2/Si/1T‑WS2双极性异质结;上层二维2H‑MoSe2材料和下层二维1T‑WS2材料外表面分别设置有顶电极和底电极。本发明所制备的探测器具有在紫外和近红外双波段的窄带响应,且响应速度快、易集成。

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