吾拾微电子(苏州)有限公司丁绍春获国家专利权
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龙图腾网获悉吾拾微电子(苏州)有限公司申请的专利一种蓝膜张紧装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234121U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520392736.1，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种蓝膜张紧装置是由丁绍春;万士元;沈达;薛亚玲设计研发完成，并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蓝膜张紧装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种蓝膜张紧装置，包括：安装台；吸附固定组件，包括吸附台和负压件，吸附台吸附固定晶圆；张紧组件，包括分别设置在吸附台两侧的第一固定板和第二固定板、调节件、以及连接在调节件与吸附固定组件之间的弹性件，第一固定板和第二固定板分别用于固定蓝膜的两边缘，调节件在外力作用下可带动第二固定板靠近或远离吸附固定组件移动以具有压缩位置和张紧位置；位于压缩位置时，第一固定板与第二固定板之间的距离小于蓝膜的宽度；位于张紧位置时，第一固定板与第二固定板之间的距离与蓝膜宽度趋于一致，以将非展平状态的蓝膜展平，有效张紧蓝膜，避免松弛，提高晶圆处理质量，且结构简单，操作方便。
本实用新型一种蓝膜张紧装置在权利要求书中公布了：1.一种蓝膜张紧装置，其特征在于，包括： 安装台； 吸附固定组件，包括吸附台和负压件，所述吸附台上设置有若干与所述负压件连通的吸附孔，若干所述吸附孔在所述负压件作用下吸附固定晶圆； 张紧组件，包括分别设置在所述吸附台两侧的第一固定板和第二固定板、设置在所述第二固定板外侧且与所述第二固定板连接的调节件、以及连接在所述调节件与所述吸附固定组件之间的弹性件，所述第一固定板和第二固定板分别用于固定蓝膜的两边缘，所述调节件在外力作用下可带动所述第二固定板靠近或远离所述吸附固定组件移动以具有压缩位置和张紧位置； 位于所述压缩位置时，所述第一固定板与所述第二固定板之间的距离小于所述蓝膜的宽度； 位于所述张紧位置时，所述第一固定板与所述第二固定板之间的距离与所述蓝膜宽度趋于一致。
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