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龙图腾网获悉东华大学申请的专利基于双干涉共光路测量的系统像差自校准方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121739878B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610227241.2，技术领域涉及：G01B9/02055；该发明授权基于双干涉共光路测量的系统像差自校准方法和装置是由孙成成;顾鹏;刘向军设计研发完成，并于2026-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于双干涉共光路测量的系统像差自校准方法和装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于双干涉共光路测量的系统像差自校准方法和装置，其中方法包括：采用双干涉共光路测量系统对待测光学微结构表面进行测量，得到相位分布数据和三维形貌高度数据；以Zernike多项式为基函数，建立双干涉共光路测量系统的像差参数化模型；以相位分布数据为基准，结合激光干涉通道与系统像差参数之间的解析关系，通过优化算法反演求解出当前测量状态下双干涉共光路测量系统的实际像差系数集合；利用双干涉共光路测量系统的实际像差系数集合，结合白光干涉通道与系统像差参数之间的解析关系重构出对应于整个测量视场的像差场，利用像差场对三维形貌高度数据进行逐点修正。本发明能够在线、自参考、高精度地补偿系统固有像差。

本发明授权基于双干涉共光路测量的系统像差自校准方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种基于双干涉共光路测量的系统像差自校准方法，其特征在于，包括以下步骤： 采用双干涉共光路测量系统对待测光学微结构表面进行测量，得到相位分布数据和三维形貌高度数据；所述双干涉共光路测量系统包括激光干涉通道和白光干涉通道，所述激光干涉通道用于获取所述相位分布数据，所述白光干涉通道用于获取所述三维形貌高度数据； 以Zernike多项式为基函数，建立所述双干涉共光路测量系统的像差参数化模型，得到激光干涉通道与系统像差参数之间的解析关系，以及白光干涉通道与系统像差参数之间的解析关系； 以所述相位分布数据为基准，结合所述激光干涉通道与系统像差参数之间的解析关系，通过优化算法反演求解出当前测量状态下所述双干涉共光路测量系统的实际像差系数集合； 利用所述双干涉共光路测量系统的实际像差系数集合，结合所述白光干涉通道与系统像差参数之间的解析关系重构出对应于整个测量视场的像差场，利用所述像差场对所述三维形貌高度数据进行逐点修正。

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