江苏永鼎股份有限公司路庆海获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏永鼎股份有限公司申请的专利一种用于光栅形貌表征的阶梯状调试片及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121634366B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610152922.7，技术领域涉及：G02B5/18；该发明授权一种用于光栅形貌表征的阶梯状调试片及其制备方法是由路庆海;周莉;冯丽彬设计研发完成，并于2026-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于光栅形貌表征的阶梯状调试片及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体光电器件技术领域，公开一种用于光栅形貌表征的阶梯状调试片及其制备方法。阶梯状调试片包括分布在衬底的中心区域的第一诊断单元、分布在衬底的中间区域的第二测试单元以及分布在衬底的边缘区域的第三诊断单元，所述第二测试单元设有阶梯状观测子结构，所述第一诊断单元以及第三诊断单元均并列设有形貌关联子结构以及多参数子结构；所述形貌关联子结构包括对比光栅组，对比光栅组包括并列设置的未刻蚀光刻胶光栅与已刻蚀材料光栅。本发明用于光栅形貌表征的阶梯状调试片及其制备方法，既能够使测试数据能真实反映工艺在整片衬底上的表现，又能够简化单个测试单元的版图复杂性，提高制备的可行性。
本发明授权一种用于光栅形貌表征的阶梯状调试片及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种用于光栅形貌表征的阶梯状调试片，其特征在于，包括分布在衬底上的测试阵列，所述测试阵列包括第一诊断单元、第二测试单元以及第三诊断单元，所述第一诊断单元分布在衬底的中心区域，所述第二测试单元分布在衬底的中间区域，所述第三诊断单元分布在衬底的边缘区域； 所述第二测试单元设有阶梯状观测子结构，所述阶梯状观测子结构包括多个第一光栅条带，第一光栅条带沿垂直于其内部光栅线条长度的方向呈阶梯状交错排列； 所述第一诊断单元以及第三诊断单元均并列设有形貌关联子结构以及多参数子结构；所述形貌关联子结构包括对比光栅组，对比光栅组包括并列设置的未刻蚀光刻胶光栅与已刻蚀材料光栅；所述多参数子结构包括光栅阵列，光栅阵列包括多组光栅单元，多组光栅单元具有不同的占空比。
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