买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江苏鸣志微电子科技有限公司申请的专利一种用于双面曝光机晶圆对中CCD动态补偿机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224216992U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521488416.2，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于双面曝光机晶圆对中CCD动态补偿机构是由殷大晨;路平;王焕之设计研发完成，并于2025-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于双面曝光机晶圆对中CCD动态补偿机构在说明书摘要公布了：本实用新型属于曝光机领域，具体的说是一种用于双面曝光机晶圆对中CCD动态补偿机构，包括底板；所述底板顶部的边缘处固定连接有竖板，所述竖板的一侧转动连接有水平调节组件，所述水平调节组件的表面固定连接有移动平台，所述移动平台的顶部固定连接有角度调节组件；通过水平调节组件的结构设计，将定制的A音圈电机通电后，A传动杆通过通电线圈在永磁场中直接转动，无需齿轮、螺杆等中间传动部件，避免了机械间隙和惯性延迟，A传动杆转动的同时带动螺纹杆旋转，并通过旋转螺纹推动螺纹筒移动，进而改变移动平台及其上部结构与晶圆位置，使该CCD动态补偿机构能够快速响应调整晶圆位置，提高了晶圆的曝光效率。

本实用新型一种用于双面曝光机晶圆对中CCD动态补偿机构在权利要求书中公布了：1.一种用于双面曝光机晶圆对中CCD动态补偿机构，其特征在于：包括底板1；所述底板1顶部的边缘处固定连接有竖板2，所述竖板2的一侧转动连接有水平调节组件3，所述水平调节组件3的表面固定连接有移动平台4，所述移动平台4的顶部固定连接有角度调节组件5； 所述水平调节组件3包括转动连接于竖板2一侧的螺纹杆301，所述螺纹杆301的表面螺纹连接有螺纹筒302，所述螺纹筒302的表面固定连接有移动平台4，所述螺纹杆301的一端固定连接有A传动杆303，所述A传动杆303的表面贯通连接有竖板2，所述A传动杆303的一端花键连接于A音圈电机304的输出端； 所述角度调节组件5包括固定连接于移动平台4顶部的底块501，所述底块501的顶部滑动连接有齿条板502，所述齿条板502的表面啮合连接有齿轮轴503，所述齿轮轴503的顶部固定连接有转动板506，所述齿条板502的一端固定连接有B传动杆504，所述B传动杆504的一端花键连接于B音圈电机505的输出端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏鸣志微电子科技有限公司，其通讯地址为：225000 江苏省扬州市邗江区西湖街道美湖路9号-6栋-1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。