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龙图腾网获悉浙江赛瑾半导体科技有限公司申请的专利一种光刻机用光罩板上颗粒检测仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224216520U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520935123.8，技术领域涉及：G01N15/1434；该实用新型一种光刻机用光罩板上颗粒检测仪是由刘出群;温小健;金兴盛;宋展雄设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机用光罩板上颗粒检测仪在说明书摘要公布了：一种光刻机用光罩板上颗粒检测仪，其用于对一个光罩板的两个侧面进行检测，并清洁掉其上的微小颗粒。该检测仪包括一个机架，一个设置于所述机架上的运输组件，至少一个设置于所述运输组件的一侧的清洁组件，以及至少两个相对设置于所述机架上的光照检测器组件。该检测仪通过所述运输组件运输所述光罩板，并使其依次通过清洁组件与光照检测器组件。所述激光发射器发射出的激光经过所述第一、二凸透镜进行聚焦，最小能够照射到大小为10um的微小颗粒，并将光线的信号反馈给光线接收器进行转换形成不同的频谱，并用计算机进行分析计算，得出不同颗粒大小的漫反射频谱和位置信息，最后根据计算机得出的颗粒信息再通过清洁组件对该光罩板进行清洁。

本实用新型一种光刻机用光罩板上颗粒检测仪在权利要求书中公布了：1.一种光刻机用光罩板上颗粒检测仪，其用于对一个光罩板的两个侧面进行检测，并清洁掉其上的微小颗粒，其特征在于：所述光刻机用光罩板上颗粒检测仪包括一个机架，一个设置于所述机架上的运输组件，至少一个设置于所述运输组件的一侧的清洁组件，以及至少两个相对设置于所述机架上的光照检测器组件，两个所述光照检测器组件的排列方向垂直于所述光罩板的运输方向，且分别位于该运输方向的两侧，所述光照检测器组件包括一个壳体，一个设置于所述壳体内的激光发射器，一个设置于所述激光发射器的一侧的振镜，至少两个设置于所述振镜的一侧的第一凸透镜，一个设置于所述第一凸透镜的第一反射镜，一个设置于所述第一反射镜的一侧的第二凸透镜，一个设置于所述第二凸透镜的一侧的第二反射镜，至少两个设置于所述第一凸透镜的一侧的第三凸透镜，一个设置于所述振镜的一侧的第三反射镜，以及一个设置于所述第三反射镜的一侧的光线接收器，所述壳体朝向另一个光照检测器组件的方向开设有一个开口，所述激光发射器发射的激光路线为，所述激光发射器，所述振镜，所述第一凸透镜，所述第一反射镜，所述第二凸透镜，所述第二反射镜，所述开口，所述光罩板，所述开口，所述第一反射镜，所述第三凸透镜，所述振镜，所述第三反射镜，所述光线接收器，所述激光发射器射出激光以形成主光束，所述主光束照射到所述光罩板上时，部分主光束被反射而形成主反射线，所述主光束照射在该光罩板上的微小颗粒时，所述主光束会被反射而形成漫反射线，所述主光束照射在所述光罩板上的入射角为60°，所述漫反射线与所述光罩板之间的夹角为15°，偏离所述主反射线的角度为15°。

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