欣福半导体科技(合肥)有限公司陈娟获国家专利权
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龙图腾网获悉欣福半导体科技(合肥)有限公司申请的专利一种晶圆盒内部污染物采样装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224216382U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520868712.9，技术领域涉及：G01N1/24；该实用新型一种晶圆盒内部污染物采样装置是由陈娟;吴慕妍;夏雨婷;张娜;张家辉;关冉冉设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒内部污染物采样装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆盒内部污染物采样装置，包括固定座，所述固定座的表面固定安装有限位筒，限位筒的内部固定安装有主驱动缸，主驱动缸的输出轴端部固定安装有升降台，升降台的顶部固定安装有安装座，安装座的侧壁上分别固设有取样组件A、取样组件B、取样组件C、取样组件D和取样组件E，取样组件E上设置有次驱动缸，次驱动缸的输出轴端部固定连接有取样嘴，取样嘴的圆周外壁设置有受力座。该晶圆盒内部污染物采样装置，提高取样嘴所取样本的广泛性；避免只局限于某一固定点或区域，从而能够更全面地采集到晶圆表面不同位置的杂质样本，更准确地反映整个晶圆表面杂质的分布情况和平均含量；实现可更加准确对晶圆质量作出评估。
本实用新型一种晶圆盒内部污染物采样装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒内部污染物采样装置，包括固定座1，其特征在于：所述固定座1的表面固定安装有限位筒2，限位筒2的内部固定安装有主驱动缸21，主驱动缸21的输出轴端部固定安装有升降台3，升降台3的顶部固定安装有安装座4，安装座4的侧壁上分别固设有取样组件A5、取样组件B51、取样组件C52、取样组件D53和取样组件E54，取样组件E54上设置有次驱动缸541，次驱动缸541的输出轴端部固定连接有取样嘴543，取样嘴543的圆周外壁设置有受力座542。
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