铜陵安德科铭电子材料科技有限公司乜生良获国家专利权
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龙图腾网获悉铜陵安德科铭电子材料科技有限公司申请的专利一种High-K前驱体材料在线密闭取样装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224216358U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520718423.0,技术领域涉及:G01N1/14;该实用新型一种High-K前驱体材料在线密闭取样装置是由乜生良;汪海燕;周俊;章祁设计研发完成,并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种High-K前驱体材料在线密闭取样装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种High‑K前驱体材料在线密闭取样装置,涉及半导体材料技术领域,包括主取样管线,还包括:主取样管线,其一端连接物料采出设备,另一端连接取样瓶;氮气管线,通过氮气支管与主取样管线连接;真空管线,通过真空支管与主取样管线连接;多个阀门按编号依次布置,并配置为通过开关组合实现抽真空、氮气置换、物料填充及取样操作;本实用新型中,通过负压取样方式结合氮气置换,本装置能够在取样前迅速排除取样容器和管线中的空气和水分,确保取样环境达到绝水绝氧的要求,有效防止了High‑K前驱体材料因接触空气中的水分和氧气而发生变质或引发安全事故。
本实用新型一种High-K前驱体材料在线密闭取样装置在权利要求书中公布了:1.一种High-K前驱体材料在线密闭取样装置,包括主取样管线10,其特征在于:还包括: 主取样管线10,其一端连接物料采出设备,另一端连接取样瓶; 氮气管线11,通过氮气支管与主取样管线10连接; 真空管线12,通过真空支管与主取样管线10连接; 阀门一1、阀门二2、阀门三3、阀门四4、阀门五5、阀门六6、阀门七7、阀门八8、阀门九9,分布在主取样管线10、氮气管线11及真空管线12上; 多个阀门按编号依次布置,并配置为通过开关组合实现抽真空、氮气置换、物料填充及取样操作。
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