上海玄亨科技股份有限公司蒲红旭获国家专利权
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龙图腾网获悉上海玄亨科技股份有限公司申请的专利一种静电卡盘漏气率测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224216247U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521031461.5，技术领域涉及：G01M3/26；该实用新型一种静电卡盘漏气率测试装置是由蒲红旭设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘漏气率测试装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种静电卡盘漏气率测试装置，包括底座、托台、导向架和真空腔体。托台设置在底座的上表面，用于支撑静电卡盘，托台的上表面设置有第一密封圈，用于与静电卡盘之间形成密封；导向架设置在底座的上表面，位于托台的外侧；气缸设置在导向架的顶端，气缸的伸缩端朝向托台设置；真空腔体设置在气缸与托台之间，气缸的伸缩端固定连接至真空腔体的上端，以带动真空腔体上下移动；真空腔体的下端设置有第二密封圈，用于在气缸的伸缩端带动真空腔体向下移动时与静电卡盘之间形成密封。通过气缸驱动腔体与卡盘快速闭合，替代螺栓固定方式，避免了繁杂的连接安装过程，并保证了密封圈受力均匀，有利于提高效率和降低泄漏风险。
本实用新型一种静电卡盘漏气率测试装置在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘漏气率测试装置，其特征在于，包括： 底座； 托台，设置在所述底座的上表面，用于支撑静电卡盘，所述托台的上表面设置有第一密封圈，用于与所述静电卡盘之间形成密封； 导向架，设置在所述底座的上表面，位于所述托台的外侧； 气缸，设置在所述导向架的顶端，所述气缸的伸缩端朝向所述托台设置；和 真空腔体，设置在所述气缸与所述托台之间，所述气缸的伸缩端固定连接至所述真空腔体的上端，以带动所述真空腔体上下移动； 所述真空腔体的下端设置有第二密封圈，用于在所述气缸的伸缩端带动所述真空腔体向下移动时与所述静电卡盘之间形成密封。
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