苏州盈泷泽半导体设备有限公司陶明生获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州盈泷泽半导体设备有限公司申请的专利一种用于水平电镀腔体中的晶圆水平度检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224216053U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521081669.8，技术领域涉及：G01B11/30；该实用新型一种用于水平电镀腔体中的晶圆水平度检测装置是由陶明生设计研发完成，并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于水平电镀腔体中的晶圆水平度检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于水平电镀腔体中的晶圆水平度检测装置，该装置在晶圆旋转平台的两侧对称设置检测组件，利用光电传感器替代传统机械探针来检测晶圆翘曲，不仅可在单次旋转周期内完成对晶圆全周边缘的翘曲检测，避免传统单点检测的盲区问题，而且也可以避免晶圆表面被划伤或污染，尤其适用于对洁净度要求极高的半导体电镀工艺；且固定传感器的检测组件高度可调，可以快速适配不同晶圆尺寸或工艺参数，可以根据晶圆旋转平台上的晶圆高度调节检测组件的高度，使传感器光路的位置精确校准，确保光路与晶圆边缘在理想值，兼顾检测灵敏度和防误触发的情况。
本实用新型一种用于水平电镀腔体中的晶圆水平度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种用于水平电镀腔体中的晶圆水平度检测装置，其特征在于，包括在晶圆的径向方向上对称设置在晶圆旋转平台两侧的检测组件，其中，位于晶圆旋转平台一侧的检测组件上固定有光电传感器的发射器，位于晶圆旋转平台另一相对侧的检测组件上固定有光电传感器的接收器， 所述检测组件包括高度可调节的支撑座4、固定在支撑座4上的传感器支架2、以及罩住传感器支架2的传感器安装盒1，所述光电传感器的发射器或接收器3竖直穿过传感器支架2并使其下部置于支撑座4内、上部探头置于传感器安装盒1内，传感器安装盒1的朝向晶圆旋转平台的侧面上开设有用以使光电传感器的水平光束穿过的直槽孔11。
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