欣福半导体科技(合肥)有限公司吴慕妍获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉欣福半导体科技(合肥)有限公司申请的专利一种晶圆盒加热喷气干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224215740U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520690667.2，技术领域涉及：F26B11/18；该实用新型一种晶圆盒加热喷气干燥装置是由吴慕妍;陈娟;张家辉;关冉冉;夏雨婷;张娜设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒加热喷气干燥装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆盒加热喷气干燥装置，涉及晶圆盒加热干燥技术领域，包括：喷气干燥机体，所述喷气干燥机体左侧内壁处倾斜安装有喷头，所述喷头左侧通过雾化管连接有喷射雾化器，所述喷射雾化器通过输液管连接有IPA混合溶液筒，所述喷气干燥机体下端内壁通过轴承座连接有旋转柱，所述旋转柱外侧焊接有置物框板，所述置物框板上端槽内限位连接有L型压板，所述置物框板和L型压板之间压持有晶圆盒体，所述L型压板两侧面对称夹持有夹板，所述夹板通过固定柱焊接有外螺纹块，所述外螺纹块通过内螺纹槽螺接有调节槽块。本实用新型解决了现有技术中栅格板上放置的晶圆盒沟槽内残留的水分难以排出，导致加热干燥时间延长影响干燥效率的问题。
本实用新型一种晶圆盒加热喷气干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒加热喷气干燥装置，包括：喷气干燥机体1，所述喷气干燥机体1上端内壁安装有电加热器14，其特征在于： 所述喷气干燥机体1左侧内壁处倾斜安装有喷头24，所述喷头24左侧通过雾化管21连接有喷射雾化器2，所述喷射雾化器2通过输液管23连接有IPA混合溶液筒22，所述喷气干燥机体1下端内壁通过轴承座33连接有旋转柱32，所述旋转柱32外侧焊接有置物框板3，所述置物框板3上端槽内限位连接有L型压板31，所述置物框板3和L型压板31之间压持有晶圆盒体4，所述L型压板31两侧面对称夹持有夹板5，所述夹板5通过固定柱56焊接有外螺纹块54，所述外螺纹块54通过内螺纹槽53螺接有调节槽块51。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人欣福半导体科技(合肥)有限公司，其通讯地址为：231299 安徽省合肥市经济技术开发区卫星路578号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励