双良硅材料(包头)有限公司景华玉获国家专利权
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龙图腾网获悉双良硅材料(包头)有限公司申请的专利一种单晶炉热场获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224212826U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520813999.5,技术领域涉及:C30B15/14;该实用新型一种单晶炉热场是由景华玉;王新强;周涛;刘利国设计研发完成,并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶炉热场在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种单晶炉热场,将第一电极脚板和第二电极脚板分别设置于环形发热件的底部,且位于环形发热件的两侧,主加热器对坩埚的上部加热,环形发热件套设于坩埚的下部,并对坩埚的下部加热。通过上述公开的单晶炉热场,主加热器和底加热器同时对坩埚加热,并能够有效减少坩埚内温差,进而使坩埚内硅溶体对流更加均匀,进而减少氧杂质掺入单晶晶棒,保证单晶棒的品质,本申请相较于现有的平板型的底加热器,能够有效增加对坩埚的加热面积,减少坩埚内温差,进而能够使坩埚内硅溶体对流更加均匀,并减少氧杂质掺入单晶晶棒。
本实用新型一种单晶炉热场在权利要求书中公布了:1.一种单晶炉热场,其特征在于,包括:主加热器和底加热器; 所述底加热器包括环形发热件、第一电极脚板和第二电极脚板; 所述第一电极脚板和所述第二电极脚板分别设置于所述环形发热件的底部,且位于所述环形发热件的两侧; 所述主加热器用于对坩埚的上部加热; 所述环形发热件套设于所述坩埚的下部,用于对所述坩埚的下部加热。
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