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浙江众凌科技有限公司王志欣获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利金属掩膜版及其图案选择方法、装置、存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121659684B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610171134.2,技术领域涉及:G06F30/23;该发明授权金属掩膜版及其图案选择方法、装置、存储介质是由王志欣;王凤姣;徐华伟;吴焰;黄婷设计研发完成,并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

金属掩膜版及其图案选择方法、装置、存储介质在说明书摘要公布了:本申请提供了一种金属掩膜版及其图案选择方法、装置、存储介质。该图案选择方法包括:处理n种不同的过渡区图像,得到对应的n组图案设计参数,用于表征所述过渡区的图案分布状态;基于n组图案设计参数,确定最小等效区域,对各最小等效区域通过有限元算法进行力学模拟,得到n种不同的金属掩膜版对应的n组材料属性;基于n组材料属性,对n种不同的金属掩膜版通过有限元算法进行力学模拟,得到n种不同的金属掩膜版对应的n组第一形变量;从n组第一形变量中确定至少一组目标第一形变量,输出目标第一形变量对应的过渡区图像。本申请实施例采用全计算机模拟试验的方式,能够缩短产品开发周期、降低制造成本、提高研发效率。

本发明授权金属掩膜版及其图案选择方法、装置、存储介质在权利要求书中公布了:1.一种金属掩膜版的图案选择方法,所述金属掩膜版包括:位于中间的有效区、位于两端的夹持区,以及位于有效区和夹持区之间的过渡区,其特征在于,包括: S101:处理n种不同的过渡区图像,得到对应的n组图案设计参数,用于表征所述过渡区的图案分布状态;n种不同的金属掩膜版的所述过渡区的图案不同;n为正整数; S102:基于所述n组图案设计参数,分别确定所述n种不同的金属掩膜版各自的有效区、过渡区和夹持区的最小等效区域,对各最小等效区域通过有限元算法进行力学模拟,得到所述n种不同的金属掩膜版对应的n组材料属性;每组所述材料属性包括对应的所述金属掩膜版的有效区、过渡区和夹持区的材料属性; S103:基于所述n组材料属性,对所述n种不同的金属掩膜版通过有限元算法进行力学模拟,得到所述n种不同的金属掩膜版对应的n组第一形变量;每组所述第一形变量包括对应的所述金属掩膜版的有效区、过渡区和夹持区的第一形变量; S104:从所述n组第一形变量中确定至少一组目标第一形变量,输出所述目标第一形变量对应的所述过渡区图像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江众凌科技有限公司,其通讯地址为:314400 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区漕河泾路17号5幢101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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