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龙图腾网获悉广州市晟茂光电科技有限公司申请的专利一种基于光电干涉的工业机械臂末端位移高精度检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121323503B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511709353.3，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种基于光电干涉的工业机械臂末端位移高精度检测方法是由邱铭青设计研发完成，并于2025-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于光电干涉的工业机械臂末端位移高精度检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于光电干涉的工业机械臂末端位移高精度检测方法，涉及精密测量与检测技术领域，包括：S1：采集光电干涉信号并下变频滤波获取复包络信号；S2：基于复包络信号累积相位，计算初步位移观测值；S3：采集设备信息构建传感数据集，生成多源误差状态向量；S4：利用扩展卡尔曼滤波剔除误差生成净化位移值；S5：根据实时环境参数计算空气折射率，并结合参考空气折射率对净化位移值进行补偿，生成校正位移值。通过多源传感器融合、卡尔曼滤波误差估计及空气折射率补偿，实现工业机械臂末端位移的高精度、稳定性和鲁棒性测量。

本发明授权一种基于光电干涉的工业机械臂末端位移高精度检测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于光电干涉的工业机械臂末端位移高精度检测方法，其特征在于，包括： S1：采集光电干涉模块输出的两路正交干涉电信号，进行数字下变频与滤波处理，获取复包络信号； S2：基于复包络信号进行差分运算获取瞬时相位增量进行累积，得到累积光学相位，根据累积光学相位与激光波长的映射关系，计算得到初步位移观测值，构建位移观测基础集；所述累积光学相位获取包括：对复包络信号序列先进行短时复域平滑处理，以抑制高频噪声，再计算相邻采样点的差值构造复差分；通过求取复差分与复包络信号之间比值的虚部，基于一阶近似原理得到瞬时相位增量；对瞬时相位增量实施时间累计，形成以初始化时刻为基准的累计光学相位，其中，复包络信号的初始值由系统在静止条件下采样设定，并在相位累计初始化时将累计光学相位设定为零； S3：采集设备信息构建传感数据集，生成多源误差状态向量；所述S3包括：采集设备多源传感器数据构建设备传感数据集，传感数据集包括：关节位置编号、关节位置坐标、关节角度、关节及结构温度、三轴加速度计信号、陀螺仪信号；依据关节位置编号、关节位置坐标、关节角度、初步位移观测以及预设的标称运动学参数计算理论末端位置，将理论末端位置与初步位移观测进行差分，得到残差信号；基于残差信号估计与标称运动学参数相关的修正量，将修正量映射为运动学偏差；依据机械臂各关节及结构温度、驱动器工作时间信息，构建热状态数据序列，依据热状态数据序列与预设的热膨胀模型计算结构热膨胀引起的位移变化，将位移变化设置为热致位移偏差；依据机械臂末端的三轴加速度计信号和陀螺仪信号，构建振动状态数据序列，依据振动状态数据序列结合结构动力学模型计算末端震动位置的偏差，将偏差设置为振动位移偏差；基于机械臂末端的振动位移偏差的时间序列，计算连续时刻的振动速度变化，或利用陀螺仪信号直接提取振动速度信息，将计算结果作为振动速度项；结合运动学偏差、热致位移偏差、振动位移偏差和震动速度项生成多源误差状态向量； S4：基于扩展卡尔曼滤波算法对多源误差状态向量进行最优估计，从初步位移观测值中分离出最优估计后的多源误差状态向量，生成净化位移值； S5：根据实时采集的环境参数计算空气折射率，结合预设的参考空气折射率对净化位移值进行补偿，最终生成校正位移值。

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