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龙图腾网获悉武汉敢为科技有限公司申请的专利一种波长190-230nm金属介质增强反射膜及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119307863B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411847231.6，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种波长190-230nm金属介质增强反射膜及制备方法是由殷雨航;张俊龙;叶克飞;朱湘飞;郑昌军;周颖;柯宇;刘伟;刘欣欣设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种波长190-230nm金属介质增强反射膜及制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及光学薄膜技术领域，尤其是涉及一种波长190‑230nm金属介质增强反射膜及制备方法，金属介质增强反射膜包括基底、主反射层和若干介质增强层，主反射层为Al层，介质增强层由MgF2层与Al2O3层交替层叠构成，介质增强层的层数不大于3层，Al层的物理厚度为180±2%nm，MgF2层的物理厚度为26.43±2%nm，Al2O3层的物理厚度为36.65±2%nm；且MgF2层中，MgF2的蒸发速率为0.8±0.1nms，Al2O3层中，Al2O3的蒸发速率为0.5±0.05nms。本申请金属介质增强反射膜在190‑230nm波段内具有稳定的高反射率，且膜层之间的致密性和牢固性高，耐用性好。

本发明授权一种波长190-230nm金属介质增强反射膜及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种波长190-230nm金属介质增强反射膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 采用氧化铁粉与无水乙醇配制的抛光液对基底1表面抛光；接着用无水乙醇和乙醚混合液对抛光后的基底1进行擦拭，除去表面的残污，得到双面抛光基底材料；所述基底1采用光学玻璃K9或BK7； 对抛光后的所述基底1进行烘烤，烘烤过程中，温度控制为100±5℃，真空度控制为1.8×10-4Pa-2.2×10-4Pa； 在烘烤后的所述基底1表面蒸镀Al，从而成型主反射层2；所述主反射层2为Al层，蒸镀所述Al层时，Al的蒸发速率为3.0±0.1nms； 在所述主反射层2表面依次交替蒸镀MgF2与Al2O3两次，从而成型两层介质增强层3，得到波长190-230nm金属介质增强反射膜；其中，所述介质增强层由MgF2层31和Al2O3层32组成； 所述Al层的物理厚度为180±2%nm，所述MgF2层31的物理厚度为26.43±2%nm，所述Al2O3层32的物理厚度为36.65±2%nm；且蒸镀所述MgF2层31时，MgF2的蒸发速率为0.8±0.1nms，蒸镀所述Al2O3层32时，Al2O3的蒸发速率为0.5±0.05nms；另外，蒸镀Al、MgF2与Al2O3时，控制温度为100±2℃，真空度大于9.0*10-3Pa。

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