拉普拉斯新能源科技股份有限公司朱太荣获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利内炉管组件以及反应炉获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117604493B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311871600.0,技术领域涉及:C23C16/44;该发明授权内炉管组件以及反应炉是由朱太荣;林佳继设计研发完成,并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本内炉管组件以及反应炉在说明书摘要公布了:本申请提供了一种内炉管组件以及反应炉,涉及半导体或光伏材料加工领域,解决了内炉管在工艺上成型难度大的技术问题。内炉管组件应用于反应炉,反应炉包括外炉管和内炉管组件,其中,内炉管组件包括:第一安装架,具有镂空区域;第二安装架,与第一安装架平行设置;多个连接杆,每一连接杆的两端分别连接第一安装架与第二安装架;其中,多个连接杆围绕镂空区域依次排列形成腔体,镂空区域被配置为腔体的开口。通过这种结构,在制造内炉管组件时,只需要生产工艺上制作简单的第一安装架、连接杆和第二安装架就可以组装成内炉管组件,降低了内炉管组件的制造难度。
本发明授权内炉管组件以及反应炉在权利要求书中公布了:1.一种内炉管组件,其特征在于,应用于反应炉,所述反应炉包括外炉管和所述内炉管组件,其中,所述内炉管组件包括: 第一安装架,具有镂空区域; 第二安装架,与所述第一安装架平行设置; 多个连接杆,每一所述连接杆的两端分别连接所述第一安装架与所述第二安装架; 其中,多个所述连接杆围绕所述镂空区域依次排列形成腔体,所述腔体内具有工艺腔室,所述镂空区域被配置为所述腔体的开口; 其中,所述内炉管组件还包括:安装板和侧板,其中,所述安装板位于所述第二安装架的远离所述第一安装架的一侧,所述侧板连接所述第二安装架和所述安装板,所述第二安装架、所述安装板和所述侧板三者合围形成匀流腔; 其中,所述第二安装架设有多个进气孔和至少一个第一通气孔,所述进气孔被配置为向所述匀流腔输送工艺气体,所述第一通气孔连接所述匀流腔与所述工艺腔室,以将所述匀流腔内的气体输送至所述工艺腔室。
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