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龙图腾网获悉欧中电子材料(重庆)有限公司申请的专利一种含氟气体的分析方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117288902B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311328745.6，技术领域涉及：G01N33/00；该发明授权一种含氟气体的分析方法是由雷海平;刘建兰;冉芳设计研发完成，并于2023-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种含氟气体的分析方法在说明书摘要公布了：本方案属于气体分析技术领域，具体涉及一种含氟气体的分析方法。对纯氟气体分析，包括如下步骤S10‑S80：步骤S10:关闭第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门和第八阀门，打开第一减压阀、第二减压阀和第三减压阀；步骤S20:依次缓慢打开第六阀门和第二阀门，放空10min后；关闭第六阀门和第二阀门；包括如下步骤K10‑SK90：步骤K10：关闭第五阀门、第二阀门、第八阀门、第六阀门、第三阀门、第四阀门和第一阀门，开启第一减压阀、第二减压阀、第三减压阀和第七阀门。本方法操作简单方便、可操控性和安全性能高，通过文丘里管的引射口将管道内的空气吸入，然后空气从文丘里管的出口排出，实现了对管道内空气高效彻底置换，分析结果更加精准真实。

本发明授权一种含氟气体的分析方法在权利要求书中公布了：1.一种含氟气体的分析方法，其特征在于： 包括步骤S1-S7：对管道进行置换， 步骤S1：所有阀处于关闭状态，第一减压阀109调至5-8barg，打开第一阀门101、第五阀门105和第七阀门107，第二压力表113降至负压，1-2min第二压力表113指针不变化时，关闭第五阀门105和第七阀门107， 步骤S2：第三减压阀111调至2-5barg，依次打开第三阀门103、第四阀门104和第七阀门107，第二减压阀110调至1-5psig，让高纯氮气进入分析仪至指定压力； 步骤S3：关闭第三阀门103，打开第五阀门105，第二压力表113降至负压； 步骤S4：打开第二阀门102，1-2min第二压力表113指针不变化时，关闭第五阀门105和第二阀门102； 步骤S5：打开阀第三阀门103，第二压力表113至指定压力； 步骤S6：重复操作步骤S3-S5步共60次，完成置换； 步骤S7：置换后，分析仪中至指定压力，可进样分析看是否置换彻底，如不彻底，重复以上步骤S1-S6继续置换至合格； 包括如下步骤S10-S80：对纯氟气体分析， 步骤S10:关闭第一阀门101、第二阀门102、第三阀门103、第四阀门104、第五阀门105和第八阀门108，打开第一减压阀109、第二减压阀110和第三减压阀111； 步骤S20:依次缓慢打开第六阀门106和第二阀门102，放空10min后；关闭第六阀门106和第二阀门102； 步骤S30:依次打开第一阀门101、第五阀门105和第七阀门107，第二压力表113降至负压； 步骤S40:打开第二阀门102和第四阀门104，1-2min第二压力表113指针不变化时，依次关闭第五阀门105、第二阀门102、第四阀门104和第一阀门101； 步骤S50:依次缓慢打开第六阀门106和第四阀门104，当第二压力表113至指定压力时，关闭第六阀门106； 步骤S60:依次打开第一阀门101和第五阀门105，第二压力表113降低至负压，打开第二阀门102，1-2min第二压力表113指针不变化时，依次关闭第五阀门105、第二阀门102、第四阀门104和第一阀门101， 步骤S70:先后缓慢打开第六阀门106和第四阀门104，第二压力表113至指定压力时，关闭第四阀门104和第六阀门106，分析仪对纯氟气体进行分析， 步骤S80:分析结束后，依次打开第一阀门101、第五阀门105、第二阀门102和第四阀门104，第二压力表113降至负压，1-2min第二压力表113指针不变化时，依次关闭第五阀门105、第二阀门102、第四阀门104和第一阀门101； 包括如下步骤K10-SK90：对含氟混合气体分析， 步骤K10：关闭第五阀门105、第二阀门102、第八阀门108、第六阀门106、第三阀门103、第四阀门104和第一阀门101，开启第一减压阀109、第二减压阀110、第三减压阀111和第七阀门107， 步骤K20：依次打开第三阀门103和第八阀门108，关闭第三阀门103至气流变弱，打开第三阀门103，连续关闭打开第三阀门103至少30次， 步骤K30：调节第八阀门108至气流变小，带气接上含氟混合气体瓶阀接头拧紧；打开第八阀门108，确认气瓶接头处无泄露； 步骤K40：关闭第三阀门103，打开第一阀门101和第二阀门102至无气流声，关闭第二阀门102、第八阀门108和第一阀门101； 步骤K50：缓慢打开含氟混合气体瓶阀后关闭，依次打开第八阀门108和第四阀门104，第三压力表114有压力，确保瓶阀连接处无泄露； 步骤K60：再缓慢打开含氟混合气体瓶阀；第二压力表113至指定压力，关闭第四阀门104和第八阀门108； 步骤K70：依次打开第一阀门101、第五阀门105、第二阀门102、第四阀门104，第二压力表113降至负压，1-2min第二压力表113指针不变化时，依次关闭第五阀门105、第二阀门102和第一阀门101； 步骤K80：打开第八阀门108，第二压力表113II至指定压力，关闭第四阀门104、第八阀门108及氟混合气体瓶阀；分析仪分析含氟混合气体， 步骤K90：分析结束，依次打开第一阀门101、第五阀门105、第二阀门102、第八阀门108、第四阀门104，第二压力表113降至负压，1-2min第二压力表113指针不变化时，依次关闭第五阀门105、第二阀门102、第八阀门108、第四阀门104和第一阀门101； 还包括一种用于实现以上方法的含氟气体的分析装置，包括第一通路、第二通路、第三通路和第四通路； 第一通路上依次设置有普通氮气进气管道、第一减压阀109、第一压力表112、第一阀门101、单向阀和文丘里管，所述普通氮气进气管道、第一减压阀109、第一压力表112、第一普通阀、单向阀和文丘里管的入口之间均通过管道连通， 第二通路包括依次设置的氟气进气管道、第六阀门106、第四阀门104、第二减压阀110、第二压力表113、第七阀门107和分析仪，所述氟气进气管道、第六阀门106、第四阀门104、第二减压阀110、第二压力表113、第七阀门107和分析仪之间均通过管道连通，所述第四阀门104还通过管道连通有第三压力表114，所述第六阀门106和文丘里管的引射口之间通过管道连通有第二阀门102，所述分析仪的排气端通过管道连通有第五阀门105，所述第五阀门105分别与文丘里管的引射口和第二阀门102连通， 第三通路包括依次设置的第三减压阀111、第四压力表115和第三阀门103，所述第三减压阀111、第四压力表115和第三阀门103之间均通过管道连通，所述第三阀门103两端分别通过管道与第二阀门102和第四阀门104连通， 第四通路，包括含氟混合气体瓶体1和第八阀门108，所述含氟混合气体瓶体1与第八阀门108通过管道连通，所述第八阀门108通过管道分别与第二阀门102和第六阀门106连通； 含氟混合气体瓶体1为中空圆柱状，在瓶体1顶部设置有气阀2，瓶体1顶部设有瓶口3，气阀2用于关闭瓶口3，气阀2与瓶体1可拆卸连接，在瓶体1内部设置有通气管4，通气管4与瓶口3连通，通气管4为弹簧，通气管4为空心设置，通气管4上设有永磁铁5，瓶体1底部设有底座6，底座6上设有与永磁铁5相对应的电磁铁7，永磁铁5与电磁铁7同性相斥，瓶体1四周缠绕有线圈8，线圈8上连接有输入电线和输出电线，输出电线和输入电线之间组成闭合回路，电磁铁7位于闭合回路上，通气管4的底端设有封闭机构，封闭机构包括支撑板9、支撑杆10、吸盘和管塞12，管塞12用于将通气管4塞住，支撑板9与通气管4上端固定连接，支撑杆10上端铰接在支撑板9上，支撑杆10下端与管塞12固定连接，支撑板9上设有用于支撑杆10旋转的滑槽，支撑板9上设有与支撑杆10相匹配的限位槽13，限位槽13用于防止支撑杆10往下移动，瓶体1内的顶部设有用于将瓶塞往下推的推杆11。

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