佳能特机株式会社荒井由高获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利基板保持件、基板载体、成膜系统及电子器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115404454B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210553680.4，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权基板保持件、基板载体、成膜系统及电子器件的制造方法是由荒井由高;藤村秀彦;津田健人;大岛义人;下村嘉士;山本真巨;本田淳雄;小室好民;关义晴设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持件、基板载体、成膜系统及电子器件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于兼顾剪切方向的耐受载荷和粘附耐受载荷的同时输送基板的基板保持件、基板载体、成膜系统及电子器件的制造方法。设置于用于在铅垂方向下方保持并输送基板的基板载体的基板保持件具有：第1弹性体层，其具有向基板粘附的粘附面；第2弹性体层，其粘接于基板载体一侧的支承构件，相对于与粘附面平行的方向上的规定大小的力的位移量比第1弹性体层大；以及中间层，其配置在第1弹性体层和第2弹性体层之间，具有比第1弹性体层的刚性和第2弹性体层的刚性中的每一个高的刚性。
本发明授权基板保持件、基板载体、成膜系统及电子器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种基板保持件，所述基板保持件设置于用于在铅垂方向下方保持并输送基板的基板载体，其特征在于， 所述基板保持件具有： 第1弹性体层，其具有向所述基板粘附的粘附面； 第2弹性体层，其粘接于所述基板载体一侧的支承构件，相对于与所述粘附面平行的方向上的规定大小的力的位移量比所述第1弹性体层大；以及 中间层，其配置在所述第1弹性体层和第2弹性体层之间，具有比所述第1弹性体层的刚性和所述第2弹性体层的刚性中的每一个高的刚性。
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