佳能株式会社山本将志获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115343923B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210504569.6，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置是由山本将志;铃木彻;根谷尚稔;黑泽良昭;米田慎吾;日置真则设计研发完成，并于2022-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置在说明书摘要公布了：公开了标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置。标记检测装置，包括：成像单元，被配置成通过对物体上的对准标记成像来生成对准标记图像；检测单元，被配置成检测对准标记图像中的对准标记；以及调节单元，被配置成基于如下的学习模型来调节与成像相关的参数，所述学习模型是通过使用其中不能检测到对准标记的对准标记图像和作为用于对其中能够检测到对准标记的对准标记图像成像的参数的第一参数进行学习而生成的。调节单元取得作为基于学习模型的推断处理的结果的第二参数。成像单元在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。
本发明授权标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置在权利要求书中公布了：1.一种标记检测装置，包括： 成像单元，被配置成通过对物体上的对准标记成像来生成对准标记图像； 检测单元，被配置成检测对准标记图像中的对准标记；以及 调节单元，被配置成调节与成像条件相关的参数，成像条件包括以下项中的至少一个：观察视场中的对准标记的位置、成像光的波长、和成像光的照度， 其中，调节单元被配置成基于如下的学习模型的输出来调节参数，所述学习模型输出通过输入使用初始参数而被成像的对准标记图像而被估计的参数， 其中，所述学习模型是通过使用其中不能检测到对准标记的对准标记图像和作为用于对其中能够检测到对准标记的对准标记图像成像的参数的第一参数进行学习而生成的， 其中，调节单元取得作为基于学习模型的推断处理的结果的第二参数，该第二参数是从学习模型输出的，并且 其中，成像单元在参数从初始参数被调节为第二参数的状态下执行成像。
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