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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112846744B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911100586.8，技术领域涉及：B23P19/10；该发明授权钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备是由张响;龚新;郑分成;林金龙设计研发完成，并于2019-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备，属于半导体真空设备安装治具技术领域，为解决现有阀体安装精度差等问题而设计。本发明钟摆阀定位治具组件包括定位刻度盘，定位刻度盘上设置有多个同心设置的定位圆环和位于定位圆环中心处的中心点标识部，任意相邻两个定位圆环之间的间距相等。本发明钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备能通过定位刻度盘的中心与阀体的中心是否对准来判断安装是否合格，若定位刻度盘的中心与阀体的中心未对准则说明钟摆阀的安装出现了偏差、需要进行调整，通过调整使得钟摆阀安装准确，避免因为操作人员的经验差异导致钟摆阀安装出现偏差的情况。

本发明授权钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工设备，包括钟摆阀，其特征在于，还包括钟摆阀定位治具组件； 所述半导体加工设备包括腔室3，所述腔室3通过进气管31连通至反应气体存储装置，所述腔室3内设置有用于承载硅片4的载台5，所述腔室3通过腔室管道32连接至涡轮泵6，所述钟摆阀组件设置在所述腔室3和所述涡轮泵6之间； 所述钟摆阀定位治具组件，包括定位刻度盘1，所述定位刻度盘1上设置有多个同心设置的定位圆环11和位于所述定位圆环11中心处的中心点标识部12，任意相邻两个所述定位圆环11之间的间距相等； 所述定位刻度盘1固定在固定框24； 环状的所述固定框24位于阀体21的上方； 所述钟摆阀定位治具组件还包括自动偏差补偿装置，用于实时检测钟摆阀的位置偏差并自动进行补偿 所述自动偏差补偿装置包括： 位置感应器15，用于实时检测钟摆阀的位置偏差； 控制装置，与所述位置感应器15信号连接；以及， 驱动装置23，与所述控制装置信号连接，且驱动连接所述钟摆阀； 所述控制装置能够根据所述位置感应器15检测的位置偏差控制所述驱动装置23驱动所述钟摆阀摆动进行位置补偿。

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