长川科技(苏州)有限公司陈思乡获国家专利权
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龙图腾网获悉长川科技(苏州)有限公司申请的专利载片台及晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224205633U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521109482.4，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型载片台及晶圆检测设备是由陈思乡;杜振东;姜家博;赵毅斌;王坤设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本载片台及晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种载片台及晶圆检测设备，包括吸盘、底座及支撑结构。吸盘的吸附面上凹陷形成有多路吸附槽，各路吸附槽围绕吸附面的中心布置，且各路吸附槽至该中心的距离不等。底座内构造有多路第一主气道，各路第一主气道用于外接气源。支撑结构连接在底座和吸盘之间，其内构造有多个第一过气道，至少部分第一主气道分别经由不同的第一过气道与不同的吸附槽相连通。本申请利用内置于底座和支撑结构内的气道代替部分外置管路实现气源与吸附槽的连通，能够减少外置管路数量，避免管路布置繁杂，简化载片台整体结构。
本实用新型载片台及晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种载片台100，其特征在于，包括： 吸盘10，其吸附面S上凹陷形成有多路吸附槽11，各路所述吸附槽11围绕所述吸附面S的中心布置，且各路所述吸附槽11至所述中心的距离不等； 底座20，其内构造有多路第一主气道21，各路所述第一主气道21用于外接气源；及 支撑结构30，连接在所述底座20和所述吸盘10之间，其内构造有多路第一过气道31，至少部分所述第一主气道21分别经由不同的所述第一过气道31与不同的所述吸附槽11相连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长川科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215124 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园内E2E3-301单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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