山西华耀亿嘉集成电路有限公司申璐曼获国家专利权
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龙图腾网获悉山西华耀亿嘉集成电路有限公司申请的专利一种半导体晶圆加工用固定装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205632U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521049637.X,技术领域涉及:H10P72/78;该实用新型一种半导体晶圆加工用固定装置是由申璐曼;颉信忠;刘天生设计研发完成,并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆加工用固定装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体晶圆加工用固定装置,涉及半导体晶圆加工的技术领域,其包括底座;放置台,设置在底座的顶部;固定机构,设置在放置台内,用于吸附固定放置台上的工件;校准机构,设置在底座顶部,用于矫正放置台上的工件;其中,校准机构包括双向螺纹杆,转动设置在底座的顶部;一对滑块,通过导向杆滑动设置在底座的顶部,两个滑块均与双向螺纹杆螺纹连接,且两个滑块为对称设置;校准板,设置在滑块顶部;电机一,设置在底座顶部,用于驱动双向螺纹杆转动,消除人工干预误差,又可避免刚性夹持产生的局部应力集中问题,同时,负压吸附固定,规避了传统机械夹爪与晶圆表面直接接触可能导致的微裂纹、玷污或镀层损伤风险。
本实用新型一种半导体晶圆加工用固定装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆加工用固定装置,其特征在于,包括: 底座1; 放置台2,设置在底座1的顶部; 固定机构3,设置在放置台2内,用于吸附固定放置台2上的工件; 校准机构4,设置在底座1顶部,用于矫正放置台2上的工件; 其中,所述校准机构4包括: 双向螺纹杆400,转动设置在底座1的顶部; 一对滑块401,通过导向杆402滑动设置在底座1的顶部,两个所述滑块401均与双向螺纹杆400螺纹连接,且两个所述滑块401为对称设置; 校准板403,设置在滑块401顶部; 电机一404,设置在底座1顶部,用于驱动双向螺纹杆400转动。
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