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苏州联讯仪器股份有限公司李帆获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州联讯仪器股份有限公司申请的专利一种用于晶圆的吹拂机构及晶圆测试设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205614U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521109474.X,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种用于晶圆的吹拂机构及晶圆测试设备是由李帆;宋承佩;马飞设计研发完成,并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于晶圆的吹拂机构及晶圆测试设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种用于晶圆的吹拂机构及晶圆测试设备,涉及晶圆测试技术领域。本实用新型中支架具有多个第一安装部,多个第一安装部围绕支架的轴线周向布置。多个吹气件安装在第一安装部处,每个吹气件的内部具有吹气通道,吹气件的端部设有与吹气通道连通的吹气口,通过吹气件的吹气口向晶圆的正面进行吹气,从而将翘曲的晶圆吹拂平整,并贴附在热沉上,可以提高晶圆吸附的牢固度,并且能提高测试探针与晶圆接触的精准度。

本实用新型一种用于晶圆的吹拂机构及晶圆测试设备在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆的吹拂机构,所述晶圆被吸附在热沉上,其特征在于,包括: 支架,具有多个第一安装部,多个所述第一安装部围绕所述支架的轴线周向布置; 多个吹气件,所述吹气件安装在所述第一安装部处,每个所述吹气件的内部具有吹气通道,且其端部设有与所述吹气通道连通的吹气口,所述吹气通道与供气设备连接,且设置成受控地向所述吹气口输送气体,以向所述晶圆的正面吹气,从而将翘曲的所述晶圆吹拂平整,并贴附在所述热沉上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州联讯仪器股份有限公司,其通讯地址为:215129 江苏省苏州市高新区湘江路1508号5幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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