拉普拉斯新能源科技股份有限公司张铸山获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利抽气结构及加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205594U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521186935.3,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型抽气结构及加工设备是由张铸山;吕君;万林;朱智新设计研发完成,并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本抽气结构及加工设备在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体和光伏技术领域,尤其涉及一种抽气结构及加工设备,解决了相关技术中在对多处环境的气体通过一个管道共用抽气装置进行排气出现的排气量差异较大的问题。该抽气结构包括抽气管路,具有管腔,抽气管路设有抽气口,抽气管路的管壁第一进气口和第二进气口,至少一个匀流件设置于抽气管路的管腔内以将管腔分隔为第二腔室和至少一个第一腔室,其中,每一第一腔室与至少一个第一进气口连通,第二腔室与至少一个第二进气口连通,在抽气口执行抽气的情况下,吸力能够作用于每一第一进气口和每一第二进气口处的气体。本申请提供的抽气结构及加工设备,能够降低抽气结构中各进气口处排气量的差异,从而提高各处排气的均匀性和稳定性。
本实用新型抽气结构及加工设备在权利要求书中公布了:1.一种抽气结构,其特征在于,包括: 抽气管路,具有沿第一方向延伸的管腔,所述抽气管路的一端设有与所述管腔连通的抽气口,所述抽气管路的管壁设有与所述管腔连通的至少一个第一进气口和至少一个第二进气口; 至少一个匀流件,设置于所述抽气管路的所述管腔内以将所述管腔分隔为第二腔室和至少一个第一腔室,每一所述匀流件与所述管腔的侧壁围合形成沿所述第一方向延伸的一个所述第一腔室,每一所述第一腔室朝向所述抽气口的一侧设有与所述抽气口连通的开口,所述第二腔室与所述抽气口连通; 其中,每一所述第一腔室与至少一个所述第一进气口连通,所述第二腔室与至少一个所述第二进气口连通,在所述抽气口执行抽气的情况下,吸力能够作用于每一所述第一进气口和每一所述第二进气口处的气体。
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