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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种光栅衍射光束干涉离轴对准测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115981121B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310182380.4，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权一种光栅衍射光束干涉离轴对准测量装置是由王伟波;黄康胜;宋培宇;谭久彬设计研发完成，并于2023-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光栅衍射光束干涉离轴对准测量装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于硅片与工件台之间的光栅衍射光束干涉离轴对准测量装置，属于光刻技术领域；本发明采用四通道合束器对四种不同波长的激光光束进行合束，利用光束调控模块对四通道合束器输出的光束进行处理，使用自参考干涉镜组实现光栅多级次混叠衍射信号的生成，使用归一化信号探测模块对多级次对准信号进行采集，最后利用软件模块对采集的对准信号进行分析与处理，提高了系统的工艺适应性。本发明结合光束调控模块、两组自参考干涉镜组与归一化信号探测模块，解决了激光光束偏振态、光强波动以及系统内部杂散光束等因素影响对准信号质量的问题，从而提高了系统的信号探测精度和稳定性。

本发明授权一种光栅衍射光束干涉离轴对准测量装置在权利要求书中公布了：1.一种光栅衍射光束干涉离轴对准测量装置，其特征在于所述装置包括：光源模块1、光束调控模块2、信号生成模块3、第一自参考干涉镜组模块4、第一归一化信号探测模块5、第二自参考干涉镜组模块6、第二归一化信号探测模块7、软件模块8； 所述光源模块1包括第一激光器101、第二激光器102、第三激光器103、第四激光器104和四通道合束器105，利用四通道合束器105将第一激光器101、第二激光器102、第三激光器103和第四激光器104发出的激光进行合束，并引导至光束调控模块2； 所述光束调控模块2包括光调制器201、光偏振控制器202和光准直器203，利用光调制器201对光源模块1输出的激光光束进行调制，使用光偏振控制器202对光调制器201输出光束的偏振态进行改变，再由光准直器203对光偏振控制器202输出的光束进行准直，并引导至信号生成模块3； 所述信号生成模块3包括微反射镜301、聚焦透镜302、测量光栅标记303、空间滤波器304和第一偏振分束器305，将光束调控模块2输出的激光光束依次经过微反射镜301和聚焦透镜302，汇聚至测量光栅标记303表面，采用大数值孔径的聚焦透镜302收集由测量光栅标记303表面产生的衍射光束，使用空间滤波器304对所收集的衍射光束进行滤波，再利用第一偏振分束器305将滤波后的光束分成两路，并分别引导至第一自参考干涉镜组模块4和第二自参考干涉镜组模块6； 所述第一自参考干涉镜组模块4包括第一二分之一波片401、第二偏振分束器402、第一四分之一波片403、第一反射镜404、第二四分之一波片405和第一棱镜406，利用第二偏振分束器402将透过第一二分之一波片401的光束分成两路，一路光束依次经过第一四分之一波片403和第一反射镜404，另一路光束依次经过第二四分之一波片405和第一棱镜406实现光场的翻转，再由第二偏振分束器402将两路光束进行合束，进入第一归一化信号探测模块5； 所述第一归一化信号探测模块5包括第二二分之一波片501、第三偏振分束器502、第一分束系统503、第一多通道光电探测器504、第二分束系统505和第二多通道光电探测器506，利用第三偏振分束器502将透过第二二分之一波片501的光束分成两路，一路经过第一分束系统503分成四种波长对应的光束测量信号，另一路经过第二分束系统505分成四种波长对应的光束参考信号，再分别使用第一多通道光电探测器504和第二多通道光电探测器506进行同步探测，并将探测信号传输至软件模块8； 所述第二自参考干涉镜组模块6包括第三二分之一波片601、第四偏振分束器602、第三四分之一波片603、第二反射镜604、第四四分之一波片605和第二棱镜606，利用第四偏振分束器602将透过第三二分之一波片601的光束分成两路，一路光束依次经过第三四分之一波片603和第二反射镜604，另一路光束依次经过第四四分之一波片605和第二棱镜606实现光场的翻转，再由第四偏振分束器602将两路光束进行合束，进入第二归一化信号探测模块7； 所述第二归一化信号探测模块7包括第四二分之一波片701、第五偏振分束器702、第三分束系统703、第三多通道光电探测器704、第四分束系统705和第四多通道光电探测器706，利用第五偏振分束器702将透过第四二分之一波片701的光束分成两路，一路经过第四分束系统705分成四种波长对应的光束测量信号，另一路经过第三分束系统703分成四种波长对应的光束参考信号，再分别使用第四多通道光电探测器706和第三多通道光电探测器704进行同步探测，并将探测信号传输至软件模块8； 所述软件模块8包括数据采集与处理系统，分别对第一归一化信号探测模块5和第二归一化信号探测模块7所传输的四种波长对应的光束测量信号与光束参考信号进行归一化处理，各种波长的对准信号强度为相应波长的光束测量信号强度与光束测量信号强度和光束参考信号强度之和的比值。

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