学校法人关西学院;东洋铝株式会社;丰田通商株式会社金子忠昭获国家专利权
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龙图腾网获悉学校法人关西学院;东洋铝株式会社;丰田通商株式会社申请的专利氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底以及形成氮化铝层的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115443352B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180028128.7，技术领域涉及：C30B29/38；该发明授权氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底以及形成氮化铝层的方法是由金子忠昭;堂岛大地;松原萌子;西尾佳高设计研发完成，并于2021-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底以及形成氮化铝层的方法在说明书摘要公布了：本发明要解决的问题在于提供一种能够制造大口径的AlN衬底的新颖技术。本发明涉及一种AlN衬底的制造方法，包括在具有贯通孔11的SiC基底衬底10上形成AlN层20的晶体生长步骤S30。此外，本发明还涉及一种形成AlN层20的方法，包括在SiC基底衬底10的表面上形成AlN层20之前在SiC基底衬底10上形成贯通孔11的贯通孔形成步骤S10。
本发明授权氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底以及形成氮化铝层的方法在权利要求书中公布了：1.一种氮化铝衬底的制造方法，包括在具有贯通孔的碳化硅基底衬底上形成氮化铝层的晶体生长步骤， 其中，所述晶体生长步骤使所述碳化硅基底衬底和所述氮化铝层的原料相对配置并进行加热以在所述碳化硅基底衬底和所述原料之间形成所述原料为高温侧、所述碳化硅基底衬底为低温侧的温度梯度。
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