爱德华兹真空泵有限责任公司B·E·福克纳获国家专利权
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龙图腾网获悉爱德华兹真空泵有限责任公司申请的专利检测系统中的部件温度获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115004192B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180013015.X，技术领域涉及：G06K19/07；该发明授权检测系统中的部件温度是由B·E·福克纳设计研发完成，并于2021-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测系统中的部件温度在说明书摘要公布了：提供了一种检测用于半导体加工设备的支持系统的部件的温度的方法，该方法包括：将射频识别标签施加于部件，射频识别标签具有序列号；用读取器读取射频识别标签，读取器被布置成读取射频识别标签的序列号并识别射频识别标签的谐振频率；以及将射频标签的谐振频率转换为射频识别标签的温度。
本发明授权检测系统中的部件温度在权利要求书中公布了：1.一种检测半导体加工设备的工艺管线110；310的温度的方法，该方法包括： 将射频识别标签施加于420工艺管线110；310，射频识别标签200；202；204；300具有序列号； 用读取器500读取430射频识别标签200；202；204；300，读取器500被布置成读取射频识别标签200；202；204；300的序列号并识别射频识别标签200；202；204；300的谐振频率；以及 将射频标签200；202；204；300的谐振频率转换为440射频识别标签200；202；204；300的温度， 所述方法还包括： 当射频识别标签200；202；204；300施加于工艺管线110；310时，将射频识别标签200；202；204；300的序列号和安装位置记录410在数据库中；以及 当随后获得温度读数时，通过在数据库中查找射频识别标签200；202；204；300的序列号来确定450该温度读数的位置， 其中射频识别标签200；202；204；300包括处于与所述工艺管线110；310热交换的天线220；222，并且其中所述工艺管线110；310与天线220；222之间的热交换引起的天线220；222的谐振频率漂移被用于确定所述工艺管线110；310的温度并且天线220；222的谐振频率范围被与特定设定点相关联。
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