天通瑞宏科技有限公司马阳阳获国家专利权
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龙图腾网获悉天通瑞宏科技有限公司申请的专利一种声表面波谐振器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114629461B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210294578.7,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权一种声表面波谐振器是由马阳阳;刘晓军;姚若妍;宋佳佳;朱德进设计研发完成,并于2022-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种声表面波谐振器在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种声表面波谐振器,谐振器包括压电层;位于压电层上的电极层;电极层包括换能器,换能器包括第一汇流条、第一长指、第一假指、第二汇流条、第二长指和第二假指;第一汇流条和第二汇流条均沿第一方向延伸且相对设置;第一长指、第二假指、第二长指和第一假指均沿第二方向延伸且均位于第一汇流条和第二汇流条之间;第一长指和第二假指相对设置,压电层包括至少一个异质结构,异质结构深度大于换能器厚度,声表面波在异质结构中的传播速度与在压电层中的传播速度不同,异质结构沿第一方向延伸,异质结构与换能器在压电层的垂直投影交叠且与第一间隙和第二间隙在压电层的垂直投影不交叠。本发明抑制横向模传输,提升滤波器性能。
本发明授权一种声表面波谐振器在权利要求书中公布了:1.一种声表面波谐振器,其特征在于,包括: 压电层; 位于所述压电层上的电极层; 所述电极层包括换能器,所述换能器包括:第一汇流条、第一长指、第一假指、第二汇流条、第二长指和第二假指;所述第一汇流条和所述第二汇流条均沿第一方向延伸,且相对设置;所述第一长指、所述第二假指、所述第二长指和所述第一假指均沿第二方向延伸,且均位于第一汇流条和第二汇流条之间;所述第一长指和所述第一假指沿第一方向交替排列且均与所述第一汇流条连接;所述第二长指和所述第二假指沿第一方向交替排列且均与所述第二汇流条连接;所述第一长指和所述第二假指相对设置,所述第一长指和所述第二假指之间具有第一间隙,所述第二长指和所述第一假指相对设置,所述第二长指和所述第一假指之间具有第二间隙;其中,所述第二方向与所述第一方向相互交叉; 所述压电层包括至少一个异质结构,所述异质结构的深度大于所述换能器的厚度,声表面波在所述异质结构中的传播速度与在所述压电层中的传播速度不同,所述异质结构沿所述第一方向延伸,所述异质结构与所述换能器在所述压电层的垂直投影交叠,且与所述第一间隙和所述第二间隙在所述压电层的垂直投影不交叠; 其中,所述异质结构沿所述第二方向的宽度W与所述声表面波谐振器的声速和所述异质结构的声速的声速差V满足如下关系:W=K*V*λV,其中,λ为声表面波波长,V为压电层材料的声速,K为调整系数,K的取值范围为0.8-1.2; 所述异质结构沿所述声表面波谐振器厚度方向的深度包括0.3λ-3λ,其中,λ为声表面波波长,所述异质结构沿所述第一方向的长度大于所述声表面波谐振器的长度; 所述压电层邻近所述电极层的表面设置有凹槽,所述凹槽内填充有异质材料层,所述异质结构包括所述异质材料层; 所述异质材料层采用的材料包括二氧化硅或氮化硅。
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