细美事有限公司严基象获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114530396B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111392170.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于处理基板的装置是由严基象;宋京院;柳杨烈;徐庚进设计研发完成，并于2021-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：本发明构思的实施方式提供了一种用于处理基板的装置。该装置包括：处理容器，其具有内部空间；支撑单元，其配置为在内部空间中支撑和旋转基板；液体供应单元，其配置为向由支撑单元支撑的基板供应处理液；以及排气单元，其配置为从内部空间排出气流，其中排气单元包括具有入口的气流引导管，所述入口设置为在与支撑在支撑单元上的基板的旋转方向的切线方向上将气流引入气流引导管。
本发明授权用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： 处理容器，其具有内部空间； 支撑单元，其配置为在所述内部空间中支撑和旋转所述基板； 液体供应单元，其配置为将处理液供应到由所述支撑单元支撑的所述基板；以及 排气单元，其配置为从所述内部空间排出气流， 其中，所述支撑单元包括： 支撑板，其配置为支撑所述基板； 旋转轴，其配置为旋转所述支撑板；以及 致动器，其联接到所述旋转轴并配置为向所述旋转轴提供扭矩， 其中，所述排气单元包括具有入口的气流引导管，所述入口设置为在与支撑在所述支撑单元上的所述基板的旋转方向的切线方向上将所述气流引入所述气流引导管， 其中，所述处理容器包括： 外杯，其配置为提供所述内部空间；以及 内杯，其设置在所述内部空间中以与所述外杯间隔开，并且配置为围绕所述旋转轴或所述致动器，并且 所述气流引导管设置在所述外杯和所述内杯之间，且具有上壁和侧壁，所述入口形成在所述侧壁上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人细美事有限公司，其通讯地址为：韩国忠清南道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励