珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司侯雨希获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司申请的专利一种晶圆盒承载装置及刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224192398U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520801233.5，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型一种晶圆盒承载装置及刻蚀设备是由侯雨希;李文杰;张明义设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒承载装置及刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种晶圆盒承载装置及刻蚀设备，晶圆盒承载装置包括：旋转台，所述旋转台用于放置晶圆盒，所述旋转台带动所述晶圆盒水平转动；承载台，设置于所述旋转台下方并与所述旋转台相连；以及光学检测模块，设置于所述承载台上表面，位于所述晶圆盒的开口位置的外侧，用于对所述晶圆盒中的晶圆进行平边或缺口的检测。本实用新型解决了现有无寻边功能的老旧机台的承载机构无法在晶圆传输过程中对单张晶圆的平边或缺口进行光学检测，更无法对其晶圆方向进行校正，导致晶圆方向的校正完全依赖外部预对准工序，存在因晶圆方向偏差引发工艺异常风险的技术问题，而且节省了单独设置自动寻边机构的设备空间。
本实用新型一种晶圆盒承载装置及刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒承载装置，其特征在于，包括： 旋转台，所述旋转台用于放置晶圆盒，设置所述晶圆盒的开口朝向机台的机械臂，所述旋转台带动所述晶圆盒水平转动； 承载台，设置于所述旋转台下方并与所述旋转台相连，所述承载台带动所述旋转台及其上的晶圆盒垂直升降；以及 光学检测模块，设置于所述承载台上表面，位于所述晶圆盒的开口位置的外侧，用于对所述晶圆盒中的晶圆进行平边或缺口的检测。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司，其通讯地址为：519070 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层428室(集中办公区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励