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龙图腾网获悉沈阳芯达科技有限公司申请的专利晶圆加热控温装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224192392U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520990688.6，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆加热控温装置是由魏猛;张爽;赵希晨设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆加热控温装置在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆制造技术领域，尤其是涉及一种晶圆加热控温装置，包括本体以及加热构件，本体形成有相连通的进气通道、加热腔以及排气腔；进气通道用于连通本体外部的气源；排气腔用于连通本体的外部；加热腔用于放置晶圆，加热构件设置于本体，且用于对加热腔内的晶圆加热。结合上述结构可知，气源首先将惰性气体输送给进气通道，且经由进气通道输送给加热腔，惰性气体将加热腔内的晶圆挥发出的气体排出至排气腔，并且经由排气腔排出到本体的外部，使得整个加热腔内的空气流动均匀，同时可以将晶圆受热产生的挥发物快速置换出去，以便加热腔的内部保持一个稳定的环境，进而避免了晶圆的电路氧化等。

本实用新型晶圆加热控温装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热控温装置，其特征在于，包括：本体以及加热构件；其中，所述本体形成有相连通的进气通道、加热腔以及排气腔；所述进气通道用于连通所述本体外部的气源；所述排气腔用于连通所述本体的外部；所述加热腔用于放置晶圆，所述加热构件设置于所述本体，且用于对所述加热腔内的晶圆加热； 所述气源首先将惰性气体输送给所述进气通道，且经由所述进气通道输送给所述加热腔，所述惰性气体将所述加热腔内的所述晶圆挥发出的气体排出至所述排气腔，并且经由所述排气腔排出到所述本体的外部； 所述晶圆加热控温装置还包括进气构件，且所述进气构件安装于所述进气通道内，且所述进气构件形成有进气口、流通腔以及多个出气口，所述惰性气体首先经由所述进气口进入到所述流通腔内，而后经由多个所述出气口分别进入到所述加热腔内； 沿着所述加热腔的高度方向，所述进气通道、所述加热腔以及所述排气腔由上向下顺次设置； 所述进气构件的远离所述加热腔的一侧设置有所述加热构件； 所述本体形成有位于所述加热腔下方的安装腔，所述晶圆加热控温装置还包括支撑盘，所述支撑盘安装于所述安装腔内，所述晶圆能够与所述支撑盘的部分结构接触；所述支撑盘的背离所述晶圆的一侧设置有所述加热构件，且所述加热构件用于对所述支撑盘加热，以对所述晶圆加热。

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