海创智能装备(烟台)有限公司李超获国家专利权
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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种刻蚀腔室上盖提升装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224190934U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521075567.5，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种刻蚀腔室上盖提升装置是由李超;祝晓鹏;张富文设计研发完成，并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀腔室上盖提升装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种刻蚀腔室上盖提升装置，属于半导体刻蚀设备技术领域，包括机架，所述机架的一端设置有支架，所述支架与上盖连接，所述支架沿竖直方向与机架滑动连接，且所述支架沿水平方向与机架滑动连接，所述机架设有用于驱动支架竖直滑动的竖移机构，以及用于驱动支架水平滑动的横移机构。本实用新型不需要人工打开上盖，大大节省了人力，提高了便捷性。
本实用新型一种刻蚀腔室上盖提升装置在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀腔室上盖提升装置，其特征在于：包括机架13，所述机架13的一端设置有与支架2，所述支架2与上盖3连接，所述支架2沿竖直方向与机架13滑动连接，且所述支架2沿水平方向与机架13滑动连接，所述机架13设有用于驱动支架2竖直滑动的竖移机构，以及用于驱动支架2水平滑动的横移机构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人海创智能装备(烟台)有限公司，其通讯地址为：264000 山东省烟台市中国(山东)自由贸易试验区烟台片区宁波路17号海创大厦10层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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