青岛思锐智能科技股份有限公司朱高伟获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利一种离子注入设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224190932U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520889063.0，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型一种离子注入设备是由朱高伟;项鹏;王于岳;张丛;田龙;孙志坤;许建明设计研发完成，并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子注入设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种离子注入设备，包括晶圆片库，晶圆片库包括真空腔和驱动机构，驱动机构通过安装板与真空腔连接，驱动机构包括驱动杆，驱动杆的第一端伸入到真空腔内，驱动杆的第一端设置有晶舟，驱动杆和真空腔之间设置有密封结构，密封结构包括套设在驱动杆外侧的波纹管，波纹管的第一端与真空腔密封连接，波纹管的第二端与驱动杆的第二端密封连接。本实用新型提供的离子注入设备晶片库的驱动杆与真空腔之间采用波纹管进行密封，由传统的滑动密封改为静态密封，从而提高了密封的可靠性，并降低了对驱动杆的加工以及装配精度的要求，解决了传统密封容易因磨损导致失效的问题。
本实用新型一种离子注入设备在权利要求书中公布了：1.一种离子注入设备，其特征在于，包括晶圆片库，所述晶圆片库包括真空腔和驱动机构，所述驱动机构通过安装板与所述真空腔连接，所述驱动机构包括驱动杆，所述驱动杆的第一端伸入到所述真空腔内，所述驱动杆的第一端设置有晶舟， 所述驱动杆和所述真空腔之间设置有密封结构，所述密封结构包括套设在所述驱动杆外侧的波纹管，所述波纹管的第一端与所述真空腔密封连接，所述波纹管的第二端与所述驱动杆的第二端密封连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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