中国科学院长春光学精密机械与物理研究所唐瓦获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于复合电极结构的离子束控制装置及离子光学装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121565764B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610100959.5,技术领域涉及:H01J37/12;该发明授权基于复合电极结构的离子束控制装置及离子光学装置是由唐瓦;杨佳庆;季鹏;胡海翔;薛栋林;张学军设计研发完成,并于2026-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于复合电极结构的离子束控制装置及离子光学装置在说明书摘要公布了:本申请涉及光学加工技术领域,提供一种基于复合电极结构的离子束控制装置及离子光学装置,包括复合电极结构和电源控制模块,所述复合电极结构包括沿所述离子束传输方向依次同轴设置的第一电极组件、第二电极组件和第三电极组件,所述第一电极组件、第二电极组件和第三电极组件之间设有绝缘间隙;所述第一电极组件由沿圆周均匀分布的八块独立间隔设置的弧形极板组成,所述第二电极组件为中空的导电圆柱电极,所述第三电极组件由沿圆周均匀分布的八块独立间隔设置的弧形极板组成;电源控制模块配置为通过在离子束团簇尺寸筛选模式和离子束聚焦整形模式下切换施加于所述复合电极结构的电压,以实现离子束团簇尺寸筛选或离子束聚焦整形的功能。
本发明授权基于复合电极结构的离子束控制装置及离子光学装置在权利要求书中公布了:1.一种基于复合电极结构的离子束控制装置,其特征在于:包括: 复合电极结构,所述复合电极结构包括沿所述离子束传输方向依次同轴设置的第一电极组件、第二电极组件和第三电极组件,所述第一电极组件、第二电极组件和第三电极组件之间设有绝缘间隙;所述第一电极组件由沿圆周均匀分布的八块独立间隔设置的弧形极板组成,所述第二电极组件为中空的导电圆柱电极,所述第三电极组件由沿圆周均匀分布的八块独立间隔设置的弧形极板组成; 电源控制模块,配置为通过在离子束团簇尺寸筛选模式和离子束聚焦整形模式下切换施加于所述复合电极结构的电压,以实现离子束团簇尺寸筛选或离子束聚焦整形的功能。
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