捷螺智能设备(苏州)有限公司洪成都获国家专利权
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龙图腾网获悉捷螺智能设备(苏州)有限公司申请的专利一种不同工作站间晶圆盒转运系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121548265B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610055716.4,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种不同工作站间晶圆盒转运系统是由洪成都;张振义设计研发完成,并于2026-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种不同工作站间晶圆盒转运系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种不同工作站间晶圆盒转运系统,涉及晶圆转运技术领域,包括:天轨,其水平横向延伸布设;轨道车,沿所述天轨的延伸方向设置于所述天轨上并可移动;抓送组件,设置于所述轨道车的下端,用于抓取或释放晶圆盒;传送组件,设置于所述天轨的下方,且所述传送组件包括传送座以及两个对称设置于所述传送座上的单边传输带,两个单边传输带用于共同传输晶圆盒;接收组件,设置于所述传送座上,且具有高度可调并用于接收来自于抓送组件的晶圆盒的高度调节端,本转运系统转运效率高且转运稳定性好。
本发明授权一种不同工作站间晶圆盒转运系统在权利要求书中公布了:1.一种不同工作站间晶圆盒转运系统,其特征在于,包括: 天轨1,其水平横向延伸布设; 轨道车2,沿所述天轨1的延伸方向设置于所述天轨1上并可移动; 抓送组件3,设置于所述轨道车2的下端,用于抓取或释放晶圆盒; 传送组件4,设置于所述天轨1的下方,且所述传送组件4包括传送座41以及两个对称设置于所述传送座41上的单边传输带42,两个单边传输带42用于共同传输晶圆盒; 接收组件5,设置于所述传送座41上,且具有高度可调并用于接收来自于抓送组件3的晶圆盒的高度调节端; 所述接收组件5包括: 接收座51,固定于所述传送座41上; 伸缩缸52,其固定于所述接收座51上; 接收板54,固定于所述伸缩缸52的伸缩端; 所述接收板54上布设有多个第一减震器57; 所述接收座51上固定有第二减震器58。
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