中国电子技术标准化研究院((工业和信息化部电子工业标准化研究院)(工业和信息化部电子第四研究院))赵昭获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子技术标准化研究院((工业和信息化部电子工业标准化研究院)(工业和信息化部电子第四研究院))申请的专利一种晶圆薄膜载流子寿命的微波反射光电导测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121432121B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511485353.X，技术领域涉及：G01N21/75；该发明授权一种晶圆薄膜载流子寿命的微波反射光电导测量系统是由赵昭;李洁;黄智超设计研发完成，并于2025-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆薄膜载流子寿命的微波反射光电导测量系统在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，公开了一种晶圆薄膜载流子寿命的微波反射光电导测量系统，包括：可重构差分超构表面探头，以近场耦合方式与待测晶圆薄膜相互作用；光学激励模块，对所述测量区下方的所述晶圆薄膜进行脉冲光照以产生非平衡载流子；双通道微波收发模块，向所述测量区和所述参考区馈入微波信号；闭环反馈控制模块，在所述光学激励模块工作前，接收所述差分信号作为输入；数据采集与处理模块，在所述光学激励模块工作后，采集所述差分信号的瞬态变化。本发明通过闭环反馈控制模块主动调整可重构探头参考区的微波响应，在测量前将差分信号基线锁定至零点，从而抑制了共模噪声，提升了瞬态衰减曲线的信噪比和测量准确性。
本发明授权一种晶圆薄膜载流子寿命的微波反射光电导测量系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆薄膜载流子寿命的微波反射光电导测量系统，其特征在于，包括： 可重构差分超构表面探头，以近场耦合方式与待测晶圆薄膜相互作用，所述可重构差分超构表面探头划分有测量区和参考区，所述参考区内集成有可调谐元件； 光学激励模块，对所述测量区下方的所述晶圆薄膜进行脉冲光照以产生非平衡载流子； 双通道微波收发模块，向所述测量区和所述参考区馈入微波信号，并接收各自的反射信号以生成表征二者差异的差分信号； 闭环反馈控制模块，在所述光学激励模块工作前，接收所述差分信号作为输入，并据此生成控制信号施加于所述可调谐元件，以主动抑制共模噪声； 数据采集与处理模块，在所述光学激励模块工作后，采集所述差分信号的瞬态变化，并基于所述瞬态变化计算所述晶圆薄膜的载流子寿命。
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