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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利金属掩膜板及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121323550B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511862801.3，技术领域涉及：G01B21/02；该发明授权金属掩膜板及其制造方法是由尹琳书;徐华伟;龚月良;蔡俊飞;闫西安;彭瑞欣设计研发完成，并于2025-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本金属掩膜板及其制造方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种金属掩膜板及其制造方法。该金属掩膜板的制造方法包括：基于母材的多个分区的长度偏差值、浪形值，分别确定母材的长度偏差变化量、浪形变化量；创建用于表征母材的长度偏差变化量、浪形变化量以及像素孔变化量之间的关联关系的关联模型；将母材的长度偏差变化量和浪形变化量代入关联模型，获得母材的像素孔变化量的预测值；在母材的像素孔变化量的预测值不小于目标阈值的情况下，调整金属掩膜板的制造工艺。本申请通过在金属掩膜板制造之前预测得到金属掩膜板的像素孔变化量的预测值，根据预测值调整标准制造工艺，使得基于调整后的制造工艺制造得到的金属掩膜板的像素孔变化量满足设计要求，能够提高产品一致性。

本发明授权金属掩膜板及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种金属掩膜板的制造方法，其特征在于，包括： 基于母材的多个分区的长度偏差值、浪形值，分别确定母材的长度偏差变化量、浪形变化量，包括：确定所述母材的有效区，将所述有效区沿宽度方向划分成多个所述分区，获取多个所述分区各自的长度偏差值和浪形值；所述分区的数量与所述有效区制成的所述金属掩膜板的数量对应；确定多个所述分区各自的最大长度偏差值中，最大值与最小值之间的差值为所述母材的长度偏差变化量，确定多个分区各自的浪形值的平均值中，最大值与最小值之间的差值为所述母材的浪形变化量；长度偏差值用于表征分区的实际长度与轴向长度之间的差异程度，浪形值用于表征分区的起伏程度； 创建用于表征所述母材的长度偏差变化量、浪形变化量以及像素孔变化量之间的关联关系的关联模型；同一所述母材制成多个金属掩膜板，每一所述金属掩膜板包括阵列排布的多个像素孔，多行像素孔中，相同行两端的像素孔中心之间的间距的平均值为像素孔偏差值，多个金属掩膜板的像素孔偏差值中，最大值与最小值之间的差值为像素孔变化量； 将所述母材的长度偏差变化量和浪形变化量代入所述关联模型，获得所述母材的像素孔变化量的预测值； 在所述母材的像素孔变化量的预测值不小于目标阈值的情况下，调整所述金属掩膜板的制造工艺。

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