天津众晶半导体材料有限公司薛佳勇获国家专利权
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龙图腾网获悉天津众晶半导体材料有限公司申请的专利一种单晶硅片抛光的废料清刮器及其使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121315801B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511649355.8,技术领域涉及:B24B29/02;该发明授权一种单晶硅片抛光的废料清刮器及其使用方法是由薛佳勇;薛佳伟;王海军设计研发完成,并于2025-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶硅片抛光的废料清刮器及其使用方法在说明书摘要公布了:本发明涉及单晶硅片抛光技术领域,且公开了一种单晶硅片抛光的废料清刮器及其使用方法,包括转动式移动机构以及活动式刮除机构,其内部设置有位于抛光平台上方且能够随滑动滑块移动的空心刮板、安装于空心刮板底部且能够对附着在抛光平台表面的废料进行刮除的固定刮条以及安放于空心刮板内部且能够产生往复运动并对附着在抛光平台表面的废料进行移动刮除的移动刮条。该单晶硅片抛光的废料清刮器及其使用方法,利用沿抛光平台长度方向移动的刮板对废料进行初步的刮除工作,再利用能够沿抛光平台宽度方向往复运动的刮条对残留在抛光平台表面的废料进行刮除工作,从而提高对废料的刮除运动率,提高对废料的清除效果,以保证单晶硅片的抛光质量。
本发明授权一种单晶硅片抛光的废料清刮器及其使用方法在权利要求书中公布了:1.一种单晶硅片抛光的废料清刮器,包括用于抛光工作的抛光平台4,其特征在于:还包括, 转动式移动机构1,其内部设置有两个固定安装在抛光平台4底部且对称的底部安装基座11、安装于两个底部安装基座11之间且能够转动的水平螺纹杆16、在水平螺纹杆16的转动下能够产生水平移动现象的滑动滑块17以及安装于两个底部安装基座11之间且能够防止滑动滑块17发生转动现象的水平限位滑杆12; 以及活动式刮除机构2,其内部设置有位于抛光平台4上方且能够随滑动滑块17移动的空心刮板21、安装于空心刮板21底部且能够对附着在抛光平台4表面的废料进行刮除的固定刮条24以及安放于空心刮板21内部且能够产生往复运动并对附着在抛光平台4表面的废料进行移动刮除的移动刮条27; 所述滑动滑块17的一侧固定安装有位于抛光平台4一侧的曲形连杆110,所述曲形连杆110的顶端设置有与其一体式结构的一号连接板111; 所述活动式刮除机构2包括设置于空心刮板21一端且与一号连接板111固定连接的二号连接板22,所述空心刮板21的内部设置有底端为开口状态的中空分割区23,所述空心刮板21在位于所述中空分割区23一侧的底部固定安装有固定刮条24,所述空心刮板21在位于所述中空分割区23另一侧内部设置有底端为开口状态的下滑动缺口26,所述下滑动缺口26的顶部设置有上滑动空腔25,所述下滑动缺口26内部安放有能够沿下滑动缺口26长度方向往复运动的移动刮条27,所述移动刮条27的顶部嵌入在一个位于上滑动空腔25内部的固定条28的底部,所述固定条28的上表面设置有与其一体式结构的止推板211,所述空心刮板21的另一端设置有连通外界空间和上滑动空腔25一端的一号轴体穿孔212,所述止推板211的一个表面固定安装有贯通一号轴体穿孔212的水平伸缩杆29,所述水平伸缩杆29在位于上滑动空腔25内部的杆体外围套放有处于压缩状态的一号螺旋弹簧210,所述水平伸缩杆29的一端固定安装有外部连杆213,所述空心刮板21的上表面固定安装有直线往复电机214,所述直线往复电机214的往复运动丝杆端部与所述外部连杆213的端部通过联动板215固定连接。
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